[發明專利]剝離可撓性基板的方法

在審

• 申請號: 201710092679.5
• 申請日: 2017-02-21
• 公開（公告）號: CN108608719A
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 吳政哲
• 申請（專利權）人: 臺灣格雷蒙股份有限公司;銪晟事業股份有限公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

1.一種剝離可撓性基板的方法，其特征在于，包括：

步驟A，使可撓性基板剝離裝置與所述可撓性基板接觸；

步驟B，抽取所述可撓性基板剝離裝置中的氣體；

步驟C，判斷所述可撓性基板剝離裝置的形變部的形變量是否達到預設形變量，若達到所述預設形變量，則執行步驟D，若未達到所述預設形變量，則執行步驟E；

步驟D，升起所述可撓性基板剝離裝置；

步驟E，判斷總抽氣量是否達到最大抽氣量，若未達到所述最大抽氣量，則依序執行步驟B與步驟C，若達到所述最大抽氣量，則依序執行步驟F與步驟G；

步驟F，下壓所述可撓性基板剝離裝置；

步驟G，判斷所述可撓性基板剝離裝置的所述形變部的形變量是否達到所述預設形變量，若達到所述預設形變量，則執行步驟D，若未達到所述預設形變量，則執行步驟H；

步驟H，在預設時間內，判斷所述可撓性基板剝離裝置的所述形變部的形變量是否達到所述預設形變量，若達到所述預設形變量，則執行步驟D，若未達到所述預設形變量，則執行步驟I；

步驟I，判斷所述可撓性基板剝離裝置的總下壓量是否達到最大下壓量，若未達到所述最大下壓量，則依序執行步驟F與步驟G，若達到所述最大下壓量，則執行步驟J；以及

步驟J，升起所述可撓性基板剝離裝置。

2.根據權利要求1所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，所述預設形變量落在1mm至6mm的范圍內。

3.根據權利要求1所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，所述預設時間是從所述可撓性基板剝離裝置與所述可撓性基板接觸起算30秒內。

4.根據權利要求1所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，在執行步驟D之后還包括：

步驟K，以輔助薄膜貼附所述可撓性基板；以及

步驟L，使所述可撓性基板剝離裝置與所述可撓性基板分離。

5.根據權利要求4所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，在步驟L中，使所述可撓性基板剝離裝置與所述可撓性基板分離的方法包括：

關閉抽氣系統。

6.根據權利要求5所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，在步驟L中，使所述可撓性基板剝離裝置與所述可撓性基板分離的方法還包括：

提供離子氣至所述可撓性基板剝離裝置。

7.根據權利要求1所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，在執行步驟A之前還包括：

預先使所述可撓性基板邊緣的一部分與承載基板分離。

8.根據權利要求7所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，使所述基板邊緣的所述部分與所述承載基板分離的方法包括吹氣式預處理。

9.根據權利要求1所述的剝離可撓性基板的方法，其特征在于，在執行步驟E之后且在執行步驟F之前還包括：

步驟M，回復所述可撓性基板剝離裝置中的氣壓，

在執行步驟F之后且在執行步驟G之前還包括：

步驟N，抽取所述可撓性基板剝離裝置中的氣體，

在執行步驟G之后且在執行步驟H之前還包括：

步驟O，判斷總抽氣量是否達到所述最大抽氣量，若未達到所述最大抽氣量，則依序執行步驟N與步驟G，若達到所述最大抽氣量，則執行步驟H，

在步驟I中，若總下壓量未達到所述最大下壓量，則先執行步驟M，再依序執行步驟F、步驟N與步驟G。