[發(fā)明專利]金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710091564.4
• 申請日: 2017-02-20
• 公開（公告）號: CN106646737B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃旭光;周維康;梁曉;林燦彬;劉林濤
• 申請（專利權(quán)）人: 華南師范大學(xué)
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/125
• 代理公司: 廣州容大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44326
• 代理人: 劉新年

本發(fā)明的金屬?類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器，包括基質(zhì)和設(shè)在基質(zhì)兩側(cè)的第一金屬片，在基質(zhì)上上下設(shè)置的第一波導(dǎo)和第二波導(dǎo)，以及分別設(shè)置在第一波導(dǎo)左、右兩側(cè)的第二輸出端和第三輸出端，分別設(shè)置在第二波導(dǎo)左、右兩側(cè)的第一輸入端和第四輸出端；第一波導(dǎo)和第二波導(dǎo)去掉了中間的金屬材料和空氣孔，且上方的第一波導(dǎo)向下方的第二波導(dǎo)靠近，靠近后的重合區(qū)域形成耦合寬度為1282?1300nm的耦合區(qū)；第一波導(dǎo)、第二波導(dǎo)相鄰的空氣孔半徑從兩側(cè)端部到中心逐漸縮小；第一金屬片的厚度不變，第一波導(dǎo)、第二波導(dǎo)與第一金屬片內(nèi)壁表面接觸的空氣孔半徑不變。其具有大角度輸入和輸出的特點；通過去除中間金屬和空氣孔，減小金屬厚度和調(diào)節(jié)空氣孔大小形成耦合。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)和微波技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器。

背景技術(shù)

光波導(dǎo)定向耦合器是光波導(dǎo)體系中的基礎(chǔ)器件，具有光功率分配的功能，廣泛運用在光分路器、光開關(guān)、波長選擇濾波器、光調(diào)制器等中。近幾年來，隨著耦合器加工工藝水平的提高，定向耦合器逐漸成為集成光波導(dǎo)系統(tǒng)和通信系統(tǒng)中不可缺少的元件，定向耦合器對波長較為敏感,器件的帶寬一般僅為10nm左右。相鄰波導(dǎo)的最小間距限制了集成光學(xué)芯片的信道數(shù)。為獲得較小尺寸的器件,通常采用強限制的波導(dǎo)結(jié)構(gòu),然而較小的模場直徑降低了與光纖的耦合效率。目前波導(dǎo)耦合器主要有基于全介質(zhì)光波導(dǎo)耦合器、基于光子晶體波導(dǎo)耦合器和基于表面等離子體激元(surface plasmon polaritons，SPPs)的金屬波導(dǎo)耦合器，但由于全介質(zhì)光波導(dǎo)和光子晶體波導(dǎo)相鄰波導(dǎo)的橫向間距較大，并且不具備亞波長模場束縛能力和趨膚效應(yīng)，使得光子晶體波導(dǎo)耦合器具有較大的橫向尺寸和不具備亞波長模場束縛能力。而金屬-介質(zhì)-金屬波導(dǎo)(簡稱MDM波導(dǎo)或金屬波導(dǎo))則具有較大的傳輸損耗，不能實現(xiàn)較大的拐角，因此，其相應(yīng)的波導(dǎo)耦合器無法實現(xiàn)在較大的拐角實現(xiàn)較低的傳輸損耗。目前應(yīng)用普遍的這三種耦合器均不適用于大規(guī)模高密度集成，而近年提出的一種混合波導(dǎo)——金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)，結(jié)合了光子晶體和金屬波導(dǎo)的優(yōu)勢，具有極低傳輸損耗特性、亞波長模場束縛能力、毫米級別傳輸?shù)奶攸c，打破了現(xiàn)今普遍存在的芯片級長程傳輸距離和亞波長模場束縛能力的相互制約，其結(jié)構(gòu)如圖1。但目前有關(guān)該混合波導(dǎo)的研究還不多，主要停留在對直型、彎曲型兩類簡單波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)傳輸特性、波導(dǎo)濾波器及其單波長開關(guān)的研究上,國內(nèi)外尚無基于金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器的報道，因此開展金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器的研究具有重要的理論價值和實用價值。結(jié)合混合波導(dǎo)的特性，混合波導(dǎo)耦合器將兼具光子晶體波導(dǎo)耦合器和金屬波導(dǎo)耦合器的優(yōu)點，具有較高的集成度，亞波長模場束縛能力，大拐角低損耗的特點，實現(xiàn)光的有效耦合。

混合波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)如圖1所示，將兩列Z向上周期性分布的空氣孔內(nèi)嵌到MDM波導(dǎo)的硅芯層，或是用兩列金屬Ag壁代替光子晶體波導(dǎo)中橫向延伸的三角或矩形晶格，僅僅保留線缺陷兩旁的單列空氣孔。這種設(shè)計可以使周期性空氣孔和金屬壁“協(xié)同”導(dǎo)光。其中具體參數(shù)有：d₁＝1.04um，d₂＝100nm，d₃＝745nm，Period＝430nm，R＝130nm，ε_a＝1和ε_s＝12.25。金屬材料為Ag，基質(zhì)為Si。

對于該波導(dǎo)，當(dāng)入射光為TE模式，基于全內(nèi)反射條件形成的導(dǎo)模將激發(fā)基模傳輸，模場被緊緊地束縛在兩列周期性空氣孔之間，同時金屬-介質(zhì)-金屬(簡稱MDM)結(jié)構(gòu)可以提供較強的模場束縛能力。這些屬性使得波導(dǎo)具有亞波長模場束縛能力和毫米級長程傳輸能力。金屬還具有趨膚效應(yīng)，能夠有效地阻擋相鄰集成波導(dǎo)之間的耦合，從而減小波導(dǎo)芯-芯間距，增大片上集成度，但如何實現(xiàn)兩列波導(dǎo)之間的有效耦合也成為金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器設(shè)計的難點。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明提供一種新金屬-類光子晶體混合波導(dǎo)耦合器，為實現(xiàn)高密度長距離低損耗的大規(guī)模光子集成回路中的高效分光和耦合功能，提供全新的技術(shù)解決方案。

本發(fā)明采用如下技術(shù)方案解決上述問題：