[發明專利]微型氣體傳輸裝置

有效

• 申請號: 201710089762.7
• 申請日: 2017-02-20
• 公開（公告）號: CN108457846B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 廖家淯;陳世昌;廖鴻信;黃啟峰;韓永隆
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種微型氣體傳輸裝置，其特征在于，包含：

一出氣板，具有一出氣管、一出氣孔及多個凸出部，該出氣管設置于該出氣板的一第一表面，該出氣孔設置于該出氣管中并貫穿該出氣板，用以排出氣體，該多個凸出部設置于該出氣板的一第二表面上，且每兩相鄰的該凸出部之間定義形成凹陷的至少一通氣口部；

一共振片，具有一中空孔洞，對應該出氣板的該出氣孔；

一壓電致動器，具有：

一懸浮板，具有一第一表面與一第二表面；

一外框；

至少一支架，該至少一支架連接該懸浮板及該外框且設置于該懸浮板及該外框之間；以及

一壓電元件，貼附于該懸浮板的該第一表面；以及

一蓋板，具有一側壁及一底板，該側壁環繞該底板周緣而凸設于該底板上并與該底板形成一容置空間，且該共振片及該壓電致動器設置于該容置空間中；

其中，上述的該出氣板、該共振片、該壓電致動器及該蓋板依序對應對疊設置定位，該出氣板與該共振片之間形成一匯流腔室，該蓋板與該共振片之間形成一第一腔室，當該壓電致動器受驅動以進行集氣作業時，氣體先由該出氣板的該至少一通氣口部匯集至該匯流腔室，并進一步經由該共振片的該中空孔洞流至該第一腔室暫存，當該壓電致動器受驅動以進行排氣作業時，氣體先由該第一腔室通過該共振片的該中空孔洞流至該匯流腔室，再經該出氣孔排出。

2.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該多個凸出部對應設置于該出氣板的多個邊角，且其形態為自該多個邊角向外凸出的結構。

3.如權利要求2所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該多個凸出部與該出氣板為一體成型的結構。

4.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該微型氣體傳輸裝置的該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙。

5.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該微型氣體傳輸裝置更包括至少一絕緣片及一導電片，且該至少一絕緣片及該導電片依序設置于該壓電致動器之下。

6.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該微型氣體傳輸裝置的該懸浮板的該第一表面上更具有一凸部。

7.如權利要求6所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該懸浮板的該凸部為一圓柱結構。

8.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該微型氣體傳輸裝置于該支架、該懸浮板及該外框之間還具有至少一空隙。

9.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該微型氣體傳輸裝置的該壓電致動器的該支架的兩端點分別連接該外框與該懸浮板。

10.如權利要求5所述的微型氣體傳輸裝置，其特征在于，該壓電致動器的該外框具有一導電接腳，該導電片具有一導電接腳，而該蓋板具有一開口與該出氣板的該通氣口部對應，以形成該導電片的該導電接腳與該壓電致動器的該導電接腳得以凸出設置于向外穿過該蓋板的該開口而凸出于該蓋板之外，以便于與外部電源連接。