[發明專利]一種通過直流磁控濺射法制備氧化鉭薄膜的方法有效
| 申請號： | 201710089165.4 | 申請日： | 2017-02-20 |
| 公開（公告）號： | CN106958008A | 公開（公告）日： | 2017-07-18 |
| 發明（設計）人： | 王海錢;蘇豪凱;溫劉平;吳智升;王伯宇;王曉強 | 申請（專利權）人： | 東北大學秦皇島分校 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京聯創佳為專利事務所(普通合伙)11362 | 代理人： | 郭防;王培境 |
| 地址： | 066004 河北省秦皇島市經*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 通過 直流 磁控濺射 法制 氧化 薄膜 方法 | ||
【說明書】：
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