[發(fā)明專利]具有維護區(qū)域的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710088953.1
• 申請日: 2017-02-20
• 公開（公告）號: CN107104066B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齋藤淳;吉田干;風(fēng)呂中武
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

提供具有維護區(qū)域的裝置，該裝置具有即使不將殼體的罩拆下也能夠進行維護的維護區(qū)域。一種具有維護區(qū)域的裝置(2)，該裝置(2)具有：殼體(4)；主電源開關(guān)(70)，其用于對主電源的接通和斷開進行切換；維護區(qū)域，其形成在殼體內(nèi)，在維護時作業(yè)者接近該維護區(qū)域；開閉門(64)，其用于對維護區(qū)域進行覆蓋；面板，在使主電源開關(guān)對準接通主電源的接通位置的狀態(tài)下該面板固定在殼體上，在使主電源開關(guān)對準斷開主電源的斷開位置的狀態(tài)下該面板能夠從殼體拆下；桿(74)，其一端被面板抵住；以及貫通安裝部(82)，其形成在開閉門上，具有供桿的另一端側(cè)插入的貫通孔(82a)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有維護區(qū)域的裝置，當(dāng)維護時作業(yè)者接近該維護區(qū)域。

背景技術(shù)

在對半導(dǎo)體晶片進行加工等時使用的各種裝置的殼體中收納有各種各樣的構(gòu)成要素。殼體例如由形成裝置的大致形狀的骨架和對骨架進行覆蓋的罩構(gòu)成，在對內(nèi)部的構(gòu)成要素進行維護等時，由作業(yè)者將罩的一部分拆下(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2007-331050號公報

但是，如果在每次維護時將殼體的罩拆下，則未必能夠充分地提高作業(yè)的效率。并且，在該情況下，還存在如下問題：除了用于設(shè)置裝置的設(shè)置空間之外，還必須確保用于暫時保管所拆下的罩的保管空間。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于該問題點而完成的，其目的在于提供一種具有維護區(qū)域的裝置，該裝置具有即使不將殼體的罩拆下也能夠進行維護的維護區(qū)域。

根據(jù)本發(fā)明的一方式，提供具有維護區(qū)域的裝置，其特征在于，該裝置具有：殼體；主電源開關(guān)，其用于對主電源的接通和斷開進行切換；維護區(qū)域，其形成在該殼體內(nèi)，當(dāng)維護時作業(yè)者接近該維護區(qū)域；開閉門，其用于對該維護區(qū)域進行覆蓋；面板，在使該主電源開關(guān)對準接通該主電源的接通位置的狀態(tài)下該面板固定在該殼體上，在使該主電源開關(guān)對準斷開該主電源的斷開位置的狀態(tài)下該面板能夠從該殼體拆下；桿，其一端被該面板抵住；以及貫通安裝部，其形成在該開閉門上，具有供該桿的另一端側(cè)插入的貫通孔，通過在關(guān)閉了該開閉門的狀態(tài)下將該面板固定在該殼體上并對該桿的一端的位置進行限定，該桿被定位在其另一端側(cè)插入到該貫通孔中的貫通安裝位置，通過使該主電源開關(guān)對準該斷開位置而將該面板從該殼體拆下，該桿被定位在其另一端側(cè)從該貫通孔拔出的拔出位置。

在本發(fā)明的一方式的具有維護區(qū)域的裝置中，由于具有對形成在殼體上的維護區(qū)域進行覆蓋的開閉門，所以能夠僅通過打開該開閉門而接近維護區(qū)域。也就是說，即使不將殼體的罩拆下也能夠?qū)ρb置進行維護。

并且，在本發(fā)明的一方式的具有維護區(qū)域的裝置中，在打開開閉門時，必須使主電源開關(guān)對準斷開主電源的斷開位置而將面板從殼體拆下，將另一端側(cè)插入到貫通孔中的桿定位在拔出位置，而將該桿的另一端側(cè)從貫通孔拔出。也就是說，由于不能在接通主電源的狀態(tài)下打開開閉門，所以維護時的安全性也變高。

附圖說明

圖1是示意性地示出廢液處理裝置的外觀的立體圖。

圖2是示意性地示出收納在殼體中的構(gòu)成要素的例的圖。

圖3是用于對開閉門的鎖定機構(gòu)進行說明的局部剖視俯視圖。

圖4的(A)和圖4的(B)是用于對安全機構(gòu)進行說明的側(cè)視圖。

圖5是示意性地示出開閉門的鎖定被解除的狀態(tài)的局部剖視俯視圖。

標號說明