[發明專利]超聲波換能器元件芯片、探測器以及電子設備

有效

• 申請號: 201710088584.6
• 申請日: 2013-02-17
• 公開（公告）號: CN106964531B
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 中村友亮;鶴野次郎;清賴攝內
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06;A61B8/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 田喜慶;吳孟秋

1.一種超聲波換能器元件芯片，其特征在于，具備：

基板，具有由隔壁部隔開的多個開口；

可撓膜，覆蓋多個所述開口；

超聲波換能器元件，位于所述可撓膜的覆蓋所述開口的區域；

以及

增強板，以覆蓋多個所述開口的方式固定于所述基板，

所述隔壁部的厚度小于所述隔壁部的高度。

2.根據權利要求1所述的超聲波換能器元件芯片，其特征在于，

所述超聲波換能器元件芯片在兩個電極間具有壓電膜，

從所述基板的厚度方向俯視時，所述壓電膜和所述隔壁部不重疊。

3.根據權利要求2所述的超聲波換能器元件芯片，其特征在于，

所述可撓膜由氧化硅層以及氧化鋯層構成，所述氧化鋯層位于所述氧化硅層和所述超聲波換能器元件之間。

4.根據權利要求1所述的超聲波換能器元件芯片，其特征在于，

所述開口的輪廓被規定為四方形。

5.根據權利要求2或3所述的超聲波換能器元件芯片，其特征在于，

從所述基板的厚度方向的截面觀察時，所述壓電膜的與所述可撓膜交叉的側面相對于所述基板的厚度方向傾斜。

6.根據權利要求1所述的超聲波換能器元件芯片，其特征在于，

所述超聲波換能器元件被保護膜覆蓋。

7.根據權利要求6所述的超聲波換能器元件芯片，其特征在于，

所述保護膜是硅樹脂膜。

8.一種探測器，其特征在于，具備：

根據權利要求1至7中任一項所述的超聲波換能器元件芯片；

以及

框體，支撐所述超聲波換能器元件芯片。

9.一種電子設備，其特征在于，具備：

根據權利要求8所述的探測器；以及

處理電路，與所述探測器連接，處理所述超聲波換能器元件的輸出。

10.一種超聲波診斷裝置，其特征在于，具備：

根據權利要求8所述的探測器；

處理電路，與所述探測器連接，處理所述超聲波換能器元件的輸出，并生成圖像；以及

顯示裝置，顯示所述圖像。

11.一種探測器頭，其特征在于，具備：

根據權利要求1至7中任一項所述的超聲波換能器元件芯片；

以及

框體，支撐所述超聲波換能器元件芯片。