[發(fā)明專利]一種真空設備工藝腔室壁板再生處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710088501.3
• 申請日: 2017-02-19
• 公開（公告）號: CN106868508B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 鄭軍東;李秀峰;余宵;吳林勇
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽晶海納光電科技有限公司
• 主分類號: C23C28/04
• 分類號: C23C28/04;C23G1/22;C23G1/12;C23F3/02;C23C22/56;C25D11/08;C25D11/10;C25D11/16;C25D11/24;B08B3/12
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本發(fā)明公開了一種真空設備工藝腔室壁板再生處理方法，包括以下步驟：（1）產(chǎn)品受入；（2）拋光清洗前處理；（3）聚氨酯貼膜；（4）脫脂；（5）水洗；（6）堿洗；（7）水洗；（8）酸洗；（9）水洗；（10）化學拋光；（11）水洗；（12）鈍化；（13）水洗1；（14）水洗2；（15）陽極氧化；（16）水洗1；（17）水洗2；（18）封孔；（19）水洗；（20）拋磨清洗；（21）超音波清洗；（22）吹干；（23）烘烤；（24）包裝。本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比，具有以下有益效果：本發(fā)明再生維修的壁板耐候性強，客戶在使用過程中沒有出現(xiàn)起皮現(xiàn)象，得到了市場的廣泛認可。

技術領域

本發(fā)明涉及一種再生處理方法，尤其涉及一種真空設備工藝腔室壁板再生處理方法。

背景技術

目前國內(nèi)TFT行業(yè)蓬勃發(fā)展，太陽能類產(chǎn)品也如日中天，但是給這些行業(yè)提供相應配套的電子零部件翻修服務的企業(yè)很少，尤其是國內(nèi)的本土行業(yè)更是少之又少，TFT行業(yè)和太陽能類行業(yè)一直面對國外廠商的競爭，尤其是價格的競爭，所以各廠商急需尋找服務能力強而價格上又能有競爭力的供應商，目前少有的幾家供應商都是日資、韓資、臺資企業(yè)，而本土的公司基本沒有，在此背景下，我公司決定研發(fā)真空設備工藝腔壁板、電機板等電子部件的表面清洗和陽極氧化等表面處理翻修工作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種真空設備工藝腔室壁板再生處理方法，對真空設備工藝腔室壁板進行翻修再生。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術方案：

一種真空設備工藝腔室壁板再生處理方法，包括以下步驟：

1.產(chǎn)品受入，側(cè)框架拆除；

2.拋光清洗前處理，人工用手持拋光機去除零部件表面的污漬，拋光過程中噴淋純水，無粉塵產(chǎn)生；

3.聚氨酯貼膜，用聚氨酯貼膜貼在工件上，將不需要氧化的地方遮蔽；

4.脫脂，5％氫氧化鈉的稀溶液加熱，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除表面油脂；

5.水洗，常溫純水浸洗，水洗1min，清洗表面的脫脂殘留液體；

6.堿洗，10％氫氧化鈉溶液，加熱到50℃,工件浸泡，浸泡1min～2min，去除表面的氧化層；

7.水洗，常溫純水浸洗，水洗時間1min，清洗表面的氫氧化鈉殘留液體；

8.酸洗，10％硝酸稀溶液加熱到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除堿洗槽中產(chǎn)生的生成物；

9.水洗，常溫純水浸洗，水洗時間1min，清洗表面的硝酸殘留液體；

10.化學拋光，化拋槽內(nèi)加入8％的化學拋光液，加熱到50℃，工件浸泡，浸泡1min～2min，以降低表面粗糙度；

11.水洗，常溫純水浸洗，水洗時間1min，清洗表面的化學拋光液殘留液體；

12.鈍化，50％的濃硝酸液，加熱到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，使工件表面產(chǎn)生鈍化層，更容易成膜；

13.水洗1，常溫純水浸洗，水洗時間1min，清洗表面殘留的硝酸溶液；

14.水洗2，常溫超純水浸洗，水洗時間1min，進一步清洗工件表面殘留的硝酸溶液；

15.陽極氧化，工件通電，表面長出一層氧化鋁膜；

16.水洗1，常溫超純水浸洗，水洗時間1min，清洗表面殘留的硫酸溶液；

17.水洗2，50℃超純水浸洗，水洗時間1min，同時對工件進行預熱；

18.封孔，采用100℃的超純水沸水進行封孔；