[發明專利]磁偏轉電子束蒸發源

有效

• 申請號: 201710086714.2
• 申請日: 2017-02-17
• 公開（公告）號: CN106702328B
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 郭方準;陳欣
• 申請（專利權）人: 大連交通大學
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司 21212
• 代理人: 高永德;李洪福

1.磁偏轉電子束蒸發源，其特征在于，包括：電子束發生機構、磁偏轉組件、水冷坩堝機構、直線換位機構和工作電路；

所述的電子束發生機構包括：燈絲、燈絲座A、燈絲座B、陶瓷片、陶瓷座、陶瓷座套筒、支撐塊、陶瓷柱、陶瓷柱保護罩、陰極屏蔽罩、磁鐵套；

所述的燈絲以螺釘連接的方式固定在燈絲座A和燈絲座B上；所述的兩陶瓷片以螺釘連接的方式固定在燈絲座A的上下兩定位孔內，兩陶瓷座位于燈絲座A和燈絲座B正下方，以同軸心的形式分別和兩燈絲座裝配；所述的兩陶瓷座套筒與陶瓷座間隙配合并以螺釘的連接的形式與陶瓷座一起固定在所述支撐塊上；所述支撐塊以螺釘的連接方式固定在磁鐵套上，且支撐塊設置有具有放氣的作用前后兩通孔；其中，燈絲座、陶瓷座套筒和陶瓷座縱向同軸均預設有螺釘裝配通孔，通過同一根螺釘連接在一起，磁鐵套、支撐塊和陶瓷座縱向同軸預設有螺釘裝配通孔，通過另一根螺釘連接在一起；

所述的陰極屏蔽罩位于兩燈絲座和兩陶瓷座套筒之間；所述的陶瓷柱以螺釘連接的方式固定在燈絲座A和燈絲座B之間，用以固定并絕緣兩燈絲座；

所述的陶瓷柱保護罩以螺釘連接的方式固定在陶瓷柱一側用來保護陶瓷柱；

所述的磁偏轉組件包括：永久磁鐵、軛鐵、磁偏轉擋片、磁鐵固定墊片和非磁性擋片；

所述的永久磁鐵嵌于上述磁鐵套內，并由磁鐵固定墊片通過螺釘連接固定在所述的磁鐵套上；所述的軛鐵本身無磁性，共有四塊，分別焊接在水冷坩堝機構的無氧銅坩堝上，經對應位置的永久磁鐵磁化后具備磁性兩軛鐵在電子束發生機構區域構成均勻磁場，對電子起到了偏轉270°的作用；

所述的磁偏轉擋片以螺釘連接的形式固定在所述燈絲座B上方；所述的非磁性擋片受永久磁鐵磁力吸附在磁鐵外側；

所述的水冷坩堝機構包括：無氧銅坩堝、坩堝后蓋、坩堝內襯、水冷內筒、水冷外筒、冷卻筒滑塊和連接接口管；

所述的坩堝后蓋通過釬焊的方式焊接在所述無氧銅坩堝上；所述的坩堝內襯形狀、大小與無氧銅坩堝槽相近；坩堝內襯的材料為石墨，Mo或Ta；所述水冷內筒一端焊接在無氧銅坩堝上作為進水口，另一端通過螺紋連接的形式和連接接口連接；所述的水冷外筒一端焊接在無氧銅坩堝上作為出水口；所述的冷卻筒滑塊與水冷外筒焊接在一起，水冷內筒位于水冷外筒內，冷卻水由水冷內筒流入，從水冷外筒流出；

所述的直線換位機構包括：無氧銅坩堝、冷卻筒滑塊、壓板A、壓板B、坩堝底座壓板、焊接波紋管、滑軌嵌套、追加工法蘭、銅螺母、塑料片、擰把手、銅片、螺紋絲杠、滑軌和滑軌滑塊；所述的坩堝底座壓板通過螺釘與上述的無氧銅坩堝連接；所述的冷卻筒滑塊與所述的坩堝底座以螺釘連接的形式固定，并且其上端面和前端面分別與裝有滑軌嵌套的壓板A和壓板B通過螺釘連接，可以實現在壓板A的軸向方向的滑動，從而帶動無氧銅坩堝一起滑動；所述壓板A和壓板B通過焊接的方式固定，并且與所述追加工法蘭焊接成一體；所述的焊接波紋管一端與冷卻筒滑塊焊接固定，另一端與追加工法蘭焊接固定；以上各部件位于真空內部；所述的銅片與追加工法蘭焊接固定；所述的螺紋絲杠一端與上述冷卻筒滑塊焊接固定，另一端與水冷外筒連接接口連接，螺紋絲杠實際也作為水冷外筒往外排出冷卻水；所述銅螺母與螺紋絲杠進行螺紋連接，所述的擰把手套在銅螺母上，并且通過一根細小的螺釘與銅螺母夾緊；所述的塑料片套在擰把手上；所述的滑軌焊接在追加工法蘭上；所述的滑軌滑塊與滑軌間隙配合，滑軌滑塊便可以在滑軌上滑動；即，擰動擰把手帶動銅螺母與螺桿轉動變旋轉運動為直線運動，原本壓縮后的波紋管慢慢復原，冷卻筒滑塊帶動著固定的無氧銅坩堝向前移動，達到換位的目的；

所述的工作電路由：銅棒、電極法蘭、燈絲、燈絲座A、燈絲座B、無氧銅坩堝組成；其中，兩銅棒一端分別與燈絲座A和燈絲座B相連，另一端分別與電極法蘭預設接口相連；所述燈絲兩端分別固定在燈絲座A和燈絲座B的插口處，由外接電源經銅棒、燈絲座給燈絲作為陰極，且通負高壓U＝3.5kV，無氧銅坩堝作為陽極接地。