[發明專利]寬波段、大量程激光功率計檢定裝置

有效

• 申請號: 201710085425.0
• 申請日: 2017-02-17
• 公開（公告）號: CN106840391B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 付永杰;才瀅;閆道廣;鄧玉強;方波
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍92493部隊計量測試中心;中國計量科學研究院;中國計量大學
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42
• 代理公司: 葫蘆島天開專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 21230
• 代理人: 魏勇

1.寬波段、大量程激光功率計的檢定裝置，包括寬波段、大量程、高精度、高穩定的激光功率計檢定校準，包括激光輻射源、可翻轉反射鏡、光闌、激光功率分束片、監測探測器、激光衰減器組、激光功穩儀、寬波段標準激光功率計、待檢定激光功率計和激光光路，

其特征在于：

激光輻射源（0）包括633nm激光器（1）、532nm激光器（2）和1064nm激光器（3），在633nm激光器光路上裝有第一可翻轉反射鏡（1.1），在532nm激光器光路上裝有第二可翻轉反射鏡（2.1），在1064nm激光器光路上裝有第三可翻轉反射鏡（3.1），可翻轉反射鏡所反射的激光匯聚在水平光路上，在水平光路初始位置上裝有第一可變光闌（4）和激光分束片（5），激光分束片反射的激光照向監測探測器（6）上，沒有被激光分束片反射的激光通過激光衰減器組（7），激光衰減器組包括設置在前側的可調占空比式激光衰減器（7.1）和設置在后側的中性激光衰減片（7.2），經過激光衰減器組的激光經過激光功穩儀（8）后又經過第二可變光闌（9），直至照射在寬波段標準激光功率計（10）上，然后采用待檢定激光功率計（11）替換寬波段標準激光功率計，激光直接照射到待檢定激光功率計上；

通過第一可翻轉反射鏡、第二可翻轉反射鏡和第三可翻轉反射鏡的打開和放下，調整不同波長的激光沿同一位置穿過第一可變光闌，實現不同波長激光輻射源的切換，實現寬波段激光功率計的校準；

光路穿過第一可變光闌，入射到激光分束片后，一部分沿光路反射到監測探測器，另一部分沿光路透射到激光衰減器組；

其中，633nm激光器經光路使第三可翻轉反射鏡放下，經光路穿過第一可變光闌，入射到激光分束片；

其中，532nm激光器經光路入射到第二可翻轉反射鏡，使第二可翻轉反射鏡打開，經第二可翻轉反射鏡反射后，沿光路入射到第三可翻轉反射鏡，使第三可翻轉反射鏡打開，經第三可翻轉反射鏡反射后，沿光路穿過第一可變光闌，入射到激光分束片；

其中，1064nm激光器經光路入射到第一可翻轉反射鏡，使第一可翻轉反射鏡打開，第二可翻轉反射鏡放下，沿光路入射到第三可翻轉反射鏡，使第三可翻轉反射鏡打開，經第三可翻轉反射鏡反射后，沿光路穿過第一可變光闌，入射到激光分束片；

透射到激光衰減器組的激光輻射沿光路入射到激光功穩儀；

透過激光功穩儀的激光輻射沿光路穿過第二可變光闌；

穿過第二可變光闌的激光輻射入射到寬波段標準激光功率計或待檢定激光功率計；

激光輻射源至少包括532nm、633nm和1064nm三個波長點，光譜上包含了從可見綠光、可見紅光到不可見近紅外激光輻射三個波長，通過更多的激光器和可翻轉反射鏡組合可實現更多波長的激光功率計檢定。

2.根據權利要求1所述的寬波段、大量程激光功率計的檢定裝置，其特征在于：

所述監測探測器包括激光功率計探頭和激光功率計顯示儀表，激光分束片與激光功率計探頭和激光功率計顯示儀表組成激光功率分束監測與修正裝置，所述激光分束片具有平行或楔形平面結構，前表面沒有鍍膜，后表面鍍有高損傷閾值的激光增透膜，用于將激光分束，一束進入激光功率計探頭，一束進入標準激光功率計和待檢定激光功率計；所述激光功率計探頭，為熱電型，傳感器為熱電型或光電型，傳感器為半導體材料，用于接收激光光束；所述激光功率計顯示儀表與激光功率計探頭連接，用于將激光功率計探頭輸出光信號轉換為電信號，并顯示功率值。

3.根據權利要求1所述的寬波段、大量程激光功率計的檢定裝置，其特征在于：

所述激光衰減器至少包括機械斬波式可調衰減器和中性激光衰減片；所述機械斬波式可調衰減器只有兩片金屬扇葉，且扇葉較厚，抗激光損傷能力較強，用于瓦級功率激光檢定校準；所述中性激光衰減片由一組中性灰玻璃組成，實現毫瓦級寬波段激光功率的衰減；所述機械斬波式可調衰減器和中性激光衰減片可單獨使用，也可組合使用，擴展激光功率計檢定量程，實現大量程激光功率計檢定。

4.根據權利要求1所述的寬波段、大量程激光功率計的檢定裝置，其特征在于：

所述第一可變光闌和第二可變光闌由多個葉片組成，每個葉片具有類似于圓的漸開線的形狀結構，調節旋鈕改變葉片的角度，用于光束定位，保證不同波長的激光沿同一位置入射到寬波段標準激光功率計和檢定待檢定激光功率計。