[發明專利]一種金屬材料高溫真空退火爐

在審

• 申請號: 201710084464.9
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN107058700A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 王美玲;常海
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: C21D1/773
• 分類號: C21D1/773;C21D1/26;C21D9/00
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司11401
• 代理人: 皋吉甫

1.一種金屬材料高溫真空退火爐，其特征在于，所述金屬材料高溫真空退火爐包括：主真空艙組件、真空預抽室組件、抽真空組件和第一插板閥，所述主真空艙組件與所述真空預抽室組件之間設置所述第一插板閥，所述抽真空組件分別與所述主真空艙組件和所述真空預抽室組件連接。

2.根據權利要求1所述的金屬材料高溫真空退火爐，其特征在于，所述主真空艙組件包括：爐殼體、主真空室艙門、石英觀察窗、隔熱屏、爐芯和退火樣品臺，所述爐殼體一端設置主真空室艙門，所述主真空室艙門用于密封爐殼體，所述爐殼體另一端與所述第一插板閥一端連接，所述爐殼體內的中心部分為爐芯，爐芯為鉬板條加熱體圍成的圓柱形空心結構，爐芯外側包裹多層隔熱屏，所述爐芯內設置退火樣品臺。

3.根據權利要求2所述的金屬材料高溫真空退火爐，其特征在于，所述真空預抽室組件包括：預抽室、預抽室艙門、低溫氣體噴嘴、預抽室樣品座和機械手，所述預抽室艙門設置于所述預抽室的側壁上，所述預抽室一端與所述第一插板閥另一端連接，所述預抽室另一端采用法蘭密封，法蘭中部設有通孔，所述機械手一端與通孔配合保證密封并穿過通孔置于預抽室內部，所述預抽室內設置預抽室樣品座，所述低溫氣體噴嘴一端設置于預抽室內，另一端設置于預抽室外側，與低溫氣源連接。

4.根據權利要求3所述的金屬材料高溫真空退火爐，其特征在于，所述抽真空組件包括：第一真空規、第二插板閥、分子泵、第一電磁閥、第二真空規、機械泵、波紋管和第二電磁閥，所述第二插板閥一端通過管路與所述爐殼體連接，所述第二插板閥與所述爐殼體連接的管路上設置第一真空規，所述第二插板閥另一端與分子泵一端連接，所述分子泵另一端與所述第一電磁閥一端連接；所述第二電磁閥一端與所述預抽室連接，所述第二電磁閥另一端通過波紋管及一三通閥分別連接所述機械泵和第一電磁閥另一端，所述三通閥上設置第二真空規。

5.根據權利要求4所述的金屬材料高溫真空退火爐，其特征在于，所述第一真空規為高真空規。

6.根據權利要求4所述的金屬材料高溫真空退火爐，其特征在于，所述第二真空規為低真空規。