[發明專利]一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法

有效

• 申請號: 201710084249.9
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN106882967B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 賀智勇;千粉玲;張啟富;王峰;王曉波;史曉強
• 申請（專利權）人: 北京鋼研新冶精特科技有限公司
• 主分類號: C04B35/581
• 分類號: C04B35/581;C04B35/582;C04B35/622;C04B41/88;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京天達知識產權代理事務所(普通合伙) 11386
• 代理人: 王濤;王一

1.一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，具體步驟為：

步驟一、將陶瓷粉體和分散劑加入溶劑中，制成混合漿料，初次球磨后加入增塑劑和粘結劑，進行二次球磨，制備成陶瓷漿料；

步驟二、真空條件下對陶瓷漿料進行除泡，并流延成陶瓷生片；

步驟三、陶瓷生片干燥后，在陶瓷生片表面印刷電極漿料；

步驟四、印刷電極漿料的陶瓷生片烘干后，置于熱壓燒結模具中，進行排膠處理；

步驟五、排膠后，在陶瓷生片表面鋪灑陶瓷粉體；

步驟六、對陶瓷生片熱壓燒結處理；

所述步驟一中，陶瓷粉體為AlN或AlN與Y₂O₃、La₂O₃、CeO₂、CaO、CaF₂的一種或幾種組成的復合材料；

所述步驟一中，分散劑為磷酸三乙酯，分散劑質量為陶瓷粉體質量的0.5％～2％；粘結劑為PVB，粘結劑質量為陶瓷粉質量的3％～7％；

所述步驟一中，陶瓷漿料的固相含量為40％～50％(體積)，粘度為1000～10000mPa·s；

所述步驟一中，初次球磨過程為：向混合漿料中加入磨球，球磨時間為2～10h；二次球磨時間為2～10h；

所述步驟四中，排膠過程在N₂氣氛下加熱進行；

所述步驟六中，燒結過程升溫速率不超過20℃/min，升溫至1700～1900℃，保持壓力8～25MPa，保溫時間為1～8h。

2.根據權利要求1所述的一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，所述步驟一中，增塑劑為DBP，粘結劑與增塑劑加入量質量比為0.6:1～1.6:1。

3.根據權利要求2所述的一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，所述步驟一中，溶劑為無水乙醇與異丙酮或丁酮或甲苯的混合溶液，混合質量比為1:1～2:1。

4.根據權利要求1-3任一所述的一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，所述步驟一中，磨球與陶瓷粉體的質量比為1:1～3:1。

5.根據權利要求1所述的一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，所述步驟二中，真空度為100～300Pa時進行除泡，除泡時間為0.5～2h。

6.根據權利要求5所述的一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，所述步驟三中，電極漿料印刷厚度為5～25μm。

7.根據權利要求6所述的一種含內置電極的陶瓷體的熱壓燒結方法，其特征在于，所述步驟四中，排膠過程加熱時升溫速率為0.5～3℃/min，升溫至600～800℃，保溫1～4h。