[發(fā)明專利]硅片花籃在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710082438.2 | 申請(qǐng)日: | 2017-02-16 |
| 公開(公告)號(hào): | CN106783702A | 公開(公告)日: | 2017-05-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李述周 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務(wù)所32225 | 代理人: | 孫彬,鄭明星 |
| 地址: | 213025 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片 花籃 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種硅片承載裝置技術(shù),尤其是一種硅片花籃。
背景技術(shù)
目前,大多數(shù)一線光伏組件和太陽能硅片供應(yīng)商產(chǎn)品供貨能力將很難跟上需求上漲的步伐,因?yàn)橹袊袌?chǎng)裝機(jī)量需求增長迅猛,對(duì)生產(chǎn)硅片的設(shè)備產(chǎn)能提出更高的要求。市場(chǎng)使用的硅片花籃容量為25片、50片,如果花籃容量增加至100片,將減少插片環(huán)節(jié)、硅片清洗環(huán)節(jié)、硅片分選環(huán)節(jié)換藍(lán)時(shí)間,從而提高產(chǎn)能。
現(xiàn)有廠商生產(chǎn)的100片硅片花籃,尺寸穩(wěn)定性差,花籃需要通過烘箱,從而對(duì)硅片進(jìn)行烘干,工藝時(shí)間5min溫度80~90C°的烘干花籃熱變形,經(jīng)過常溫冷卻后,第一片基準(zhǔn)高度超出允許誤差范圍,無法再次使用。現(xiàn)有硅片花籃未解決多次使用后基準(zhǔn)面到第一片高度的一致性,無法滿足設(shè)備要求基準(zhǔn)片誤差<30um的要求。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種硅片花籃。
本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案:一種硅片花籃,包括前端板、后端板和花籃側(cè)板,所述花籃側(cè)板上等距離分布有若干隔片,相鄰兩隔片之間形成用于卡放硅片的卡槽,還包括定位桿和加強(qiáng)桿,所述定位桿穿過所述花籃側(cè)板上的耳孔與所述前端板、后端板連接,所述加強(qiáng)桿設(shè)于所述花籃側(cè)板底部,所述加強(qiáng)桿與所述前端板、后端板固定連接。
進(jìn)一步地,所述定位桿上設(shè)有若干定位環(huán),所述定位環(huán)采用多點(diǎn)焊接與所述定位桿連接。
進(jìn)一步地,所述隔片數(shù)量為99個(gè),可以卡放100片硅片。
進(jìn)一步地,所述硅片花籃還包括掛耳軸,所述掛耳軸分別設(shè)于所述前端板、后端板的外側(cè),所述掛耳軸與所述前端板、后端板螺紋連接。
進(jìn)一步地,所述花籃側(cè)板采用合金塑料注塑而成,熱穩(wěn)定性強(qiáng),保證了第一片基準(zhǔn)高度在循環(huán)使用的一致性。
采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明具有以下的有益效果:本發(fā)明通過定位桿定位,底部通過加強(qiáng)桿加強(qiáng),花籃側(cè)板用定位環(huán)定位后,保證了基準(zhǔn)高度,解決長時(shí)間使用花籃變形問題,并有效控制基準(zhǔn)面誤差<30um;節(jié)約頻繁更換花籃的時(shí)間,提高硅片的生產(chǎn)效率;提高了產(chǎn)能,從而降低了單片的生產(chǎn)成本。
附圖說明
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本發(fā)明的前視圖;
圖3是本發(fā)明的俯視圖;
圖4是本發(fā)明某一卡位環(huán)的局部放大圖。
圖中:1、前端板,2、后端板,3、花籃側(cè)板,4、隔板,5、卡槽,6、定位桿,7、加強(qiáng)桿,8、定位環(huán),9、掛耳軸。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解,下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
如圖1至圖3所示的一種硅片花籃,包括前端板1、后端板2和花籃側(cè)板3,所述花籃側(cè)板3上等距離分布有若干隔片4,所述隔片4數(shù)量為99個(gè)。相鄰兩隔片4之間形成用于卡放硅片的卡槽5。還包括定位桿6、加強(qiáng)桿7和掛耳軸9,所述定位桿6穿過所述花籃側(cè)板3上的耳孔與所述前端板1、后端板2連接,所述加強(qiáng)桿7設(shè)于所述花籃側(cè)板3底部,所述加強(qiáng)桿7與通過前端板1、后端板2上面的內(nèi)六角螺紋孔與前端板1、后端板2固定連接。所述定位桿6上設(shè)有若干定位環(huán)8,所述定位環(huán)8采用多點(diǎn)焊接與所述定位桿6連接。所述掛耳軸9分別設(shè)于所述前端板1、后端板2的外側(cè),所述掛耳軸9與所述前端板1、后端板2螺紋連接。
如圖4所示,本發(fā)明的定位環(huán)8位于定位桿6與花籃側(cè)板3的耳孔后。
具體地,所述花籃側(cè)板3采用合金塑料注塑而成,熱穩(wěn)定性強(qiáng),保證了第一片基準(zhǔn)高度在循環(huán)使用的一致性。
本發(fā)明花籃通過定位桿6定位,底部通過加強(qiáng)桿7加強(qiáng),花籃側(cè)板3用定位環(huán)8定位后,保證了基準(zhǔn)高度,解決長時(shí)間使用花籃變形問題,并有效控制基準(zhǔn)面誤差<30um;節(jié)約頻繁更換花籃的時(shí)間,提高硅片的生產(chǎn)效率;提高了產(chǎn)能,從而降低了單片的生產(chǎn)成本。
以上所述的具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司,未經(jīng)常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





