[發明專利]一種光刻膠組合物及其制備方法

在審

• 申請號: 201710082086.0
• 申請日: 2017-02-15
• 公開（公告）號: CN106842817A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 胡少堅;戚繼鳴;陳壽面
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027;C25D9/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 王仙子

1.一種光刻膠組合物，其特征在于，包括以下組份：

具有聚合活性和光學活性的堿溶性樹脂；

至少含有兩個不飽和雙鍵且具有光學活性的低聚物或單體；

光敏劑；

非離子型或陽離子型表面活性劑；

熱阻聚劑；

助劑；

溶劑。

2.根據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物中各組份按質量百分比計配比如下：

3.根據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂的分子量為1000-100000。

4.根據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂選自丙烯酸、丙烯酸酯改性的氨基環氧樹脂、聚氨酯丙烯酸酯樹脂、甲基丙烯酸二甲氨基乙酯改性丙烯酸酯、聚醚氨基丙烯酸酯樹脂、丙烯酸酯酚醛樹脂和聚酰亞胺樹脂中的一種或多種組合。

5.根據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述低聚物或單體的分子量為100-2000。

6.根據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述低聚物或單體選自二丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、雙季戊四醇六丙烯酸酯、異戊四醇四丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸芐酯、環氧丙烯酸酯、脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯和有機硅改性丙烯酸酯樹脂中的一種或多種組合。

7.根據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述助劑選自偶聯劑、抗氧化劑、紫外吸收劑、消泡劑和增塑劑中的一種或多種組合。

8.據權利要求1所述的一種光刻膠組合物，其特征在于，所述溶劑選自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇甲醚、乙酸乙二醇乙醚和乳酸乙酯中的一種或多種混合。

9.一種如權利要求1-8任一項所述的光刻膠組合物的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1：將所述堿溶性樹脂與所述溶劑混合，得到的一次反應體系；

S2：利用有機酸調整所述一次反應體系的pH值，得到二次反應體系；

S3：向所述二次反應體系中加入所述光敏劑、所述低聚物或單體、所述表面活性劑、所述熱阻聚劑和所述助劑，得到三次反應體系；

S4：將所述三次反應體系進行過濾處理，得到光刻膠組合物。

10.一種導電基材的表面薄膜形成方法，其特征在于，包括：利用電鍍沉積的方法將如權利要求1-8任一項所述的光刻膠組合物均勻沉積在所述導電基材的表面。