[發明專利]一種曝光顯影工藝

在審

• 申請號: 201710081126.X
• 申請日: 2017-02-15
• 公開（公告）號: CN106707688A
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 周群飛;饒橋兵;李隆東
• 申請（專利權）人: 藍思科技（長沙）有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/40
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 趙青朵

技術領域

本發明涉及曝光顯影技術領域，尤其涉及一種曝光顯影工藝。

背景技術

曝光顯影工藝是3D鏡片產品裝飾選用的一種后制程裝飾方案。在玻璃、有機玻璃、藍寶石與注塑件等3D產品(如前蓋、嵌件、裝飾件等)加工工藝過程中，都會涉及到曝光顯影工藝，此方法可適用于多種多厚度多曲面要求的3D產品裝飾。

隨著市場對3D鏡片產品的需求，曝光顯影工藝的要求越來越高。現有曝光顯影工藝的方案為一涂一曝一顯，具體的，曝光顯影工藝依次為：清洗1→涂布1→預烤1→曝光1→顯影1→固烤1→清洗2→涂布2→預烤2→曝光2→顯影2→固烤2；上述曝光顯影方法工藝流程長，人力、物力需求大，設備投入大，還易造成產品不良率增加，因此現有技術還有待改進和發展。

發明內容

本發明解決的技術問題在于提供一種曝光顯影工藝，本申請提供的曝光顯影工藝流程簡單，且提升了制程良率。

有鑒于此，本申請提供了一種曝光顯影工藝，包括以下步驟：

A)，將基板進行清洗，在清洗后的基板表面涂布感光材料；

B)，將涂布后的基板進行預烤，在預烤后的基板表面再次涂布感光材料；

C)，將步驟B)得到的基板再次進行預烤，將預烤后的基板依次進行曝光與顯影；

D)，將步驟C)得到的基板進行固烤。

優選的，所述基板為黑色玻璃蓋板、白色玻璃蓋板或彩色玻璃蓋板。

優選的，清洗后所述基板表面的水滴角＜32°。

優選的，步驟A)中，所述感光材料的厚度小于20μm；步驟B)中，所述感光材料的厚度小于20μm。

優選的，步驟B)中，所述預烤的溫度為50～120℃，時間為2～10min；步驟C)中，所述預烤的溫度為50～120℃，時間為2～10min。

優選的，所述曝光的光源為紫外光，所述紫外光的曝光能量為100～3000mJ。

優選的，所述顯影液為氫氧化鉀溶液或碳酸鈉溶液，所述顯影液的濃度為0.2wt％～2wt％。

優選的，所述固烤的溫度為120～200℃，時間為20～50min。

本申請提供了一種曝光顯影工藝，其具體工藝流程為：清洗-涂布-預烤-涂布-預烤-顯影-固烤；相比于現有工藝流程，其減少了一次曝光、一次顯影、一次固烤與一次清洗上述四個步驟，則減少了工藝流程，提高了生產效率，且提高了制程良率。實驗結果表明，本申請的曝光顯影工藝針對白色玻璃蓋板的曝光顯影，良率可達92％以上，砂眼率低于3.2％，透光率低于2.6％，牙缺率低于1.4％。

具體實施方式

為了進一步理解本發明，下面結合實施例對本發明優選實施方案進行描述，但是應當理解，這些描述只是為進一步說明本發明的特征和優點，而不是對本發明權利要求的限制。

本發明實施例公開了一種曝光顯影工藝，包括以下步驟：

A)，將基板進行清洗，在清洗后的基板表面涂布感光材料；

B)，將涂布后的基板進行預烤，在預烤后的基板表面再次涂布感光材料；

C)，將步驟B)得到的基板再次進行預烤，將預烤后的基板依次進行曝光與顯影；

D)，將步驟C)得到的基板進行固烤。

本申請提供了一種曝光顯影工藝，其具體流程為：清洗-涂布-預烤-涂布-預烤-曝光-顯影-固烤，上述曝光顯影工藝縮短了工藝流程，提高了生產效率，但提升了制程良率。

本申請所述曝光顯影工藝針對的是目前需要進行曝光顯影的所有工藝過程。在曝光顯影過程中，本申請首先將基板進行清洗，以保證后續曝光顯影效果。所述基板為本領域技術人員熟知的材料，對此本申請沒有特別的限制，示例的，所述基板可以為白色玻璃蓋板，也可以為黑色玻璃蓋板。所述清洗的工藝本申請沒有特別的限制，按照傳統的清洗工藝及參數進行即可。為了保證后續涂布以及曝光顯影的效果，清洗后的基板表面水滴角優選小于32°，在具體實施例中，所述水滴角為20～30°。

按照本發明，基板清洗后則在基板表面涂布感光材料。所述涂布工藝為本領域技術人員熟知的涂布工藝，可以采用ink jet、噴涂、旋涂或其它涂布工藝，對此本申請沒有特別的限制。所述感光材料本申請沒有特別的限制，為本領域熟知的感光材料，在某些實施例中，所述感光材料為白色感光材料、黑色感光材料或彩色感光材料，更具體的，所述感光材料為市售的335-6010黑色感光材料、市售的11白色感光材料或市售的335-6008彩色感光材料。在涂布過程中，感光材料在基板表面的厚度應小于20μm，在某些具體實施例中，所述厚度為10～20μm。