[發明專利]一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器在審
| 申請號： | 201710080015.7 | 申請日： | 2017-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN106887417A | 公開（公告）日： | 2017-06-23 |
| 發明（設計）人： | 孫明 | 申請（專利權）人： | 西安賽創半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/31 | 分類號： | H01L23/31;H01L21/60;H03B5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710016 陜西省西安市未央區*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 密封 技術 振蕩器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器，其特征在于：包括通孔層硅、結構層硅、氧化層和底層硅，振蕩器結構利用結構層硅制作，頂層硅上制作有硅柱結構，制作過程中結構層硅與底層硅通過鍵合結合在一起，頂層硅與結構層硅也通過鍵合結合在一起。
2.根據權利要求1所述的一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器，其特征在于：振蕩器結構密封在鍵合形成的真空腔內。
3.根據權利要求1所述的一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器，其特征在于：所述振蕩器結構至少由兩個質量塊構成，每個質量塊上至少包含一組驅動梳齒和兩組檢測梳齒，驅動和檢測梳齒的動齒與質量塊相連，定齒與相應電極相連。
4.根據權利要求3所述的一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器，其特征在于：電極通過硅柱連接到外部焊盤。
5.根據權利要求3所述的一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器，其特征在于：每個質量塊結構相同或相似，相對于振蕩器結構中心對稱，各個質量塊結構之間通過至少一個彈性結構相連。
6.根據權利要求3所述的一種基于鍵合密封技術的硅振蕩器，其特征在于：振蕩器工作時，各個質量塊運動方向為同時背離振蕩器結構中心或者同時朝向振蕩器結構中心。
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