[發(fā)明專利]探針卡盒和探針卡輸送方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710076111.4 | 申請日： | 2013-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN107064570B | 公開（公告）日： | 2020-07-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 森親臣;雨宮貴 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本電子材料株式會社 |
| 主分類號： | G01R1/04 | 分類號： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 輸送 方法 | ||
1.一種探針卡輸送件，其特征在于：
所述探針卡可安裝于晶片檢查裝置，具有絕緣性基板，該絕緣性基板具有探針，為了進行形成于半導體晶片上的半導體器件的電檢查而使該探針與半導體晶片上的電極極板接觸，
所述探針卡輸送件包括：
頂板部，其具有與探針卡的一個面相對的第1面和與所述第1面相反側(cè)的第2面，其中，所述探針卡的一個面是與所述探針卡的探針設置面相反側(cè)的面；和
探針卡固定機構(gòu)，其配置在所述頂板部，通過從所述頂板部的第2面?zhèn)冗M行的操作，能夠?qū)⑺鎏结樋ü潭ㄔ谒鲰敯宀浚⑶夷軌驈乃鲰敯宀拷獬鎏结樋ǎ?/p>
所述探針卡在其被固定在所述頂板部的狀態(tài)下被輸送，
所述探針卡被從所述頂板部解除而安裝于所述晶片檢查裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡輸送件，其特征在于：
所述頂板部從所述第1面?zhèn)鹊闹芫壊垦由欤哂邪鼑鎏结樋ǖ膫?cè)壁部。
3.如權(quán)利要求1所述的探針卡輸送件，其特征在于：
所述探針卡固定機構(gòu)是貫通所述頂板部的翼形螺釘，所述翼形螺釘具有在所述第1面?zhèn)扰c所述探針卡螺合的螺紋部和配置在所述第2面?zhèn)鹊囊聿俊?/p>
4.如權(quán)利要求2所述的探針卡輸送件，其特征在于：
在所述頂板部的所述側(cè)壁部具有用于輸送的把手。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的探針卡輸送件，其特征在于：
所述探針卡輸送件至少一部分為透明，能夠隔著所述探針卡輸送件目視所述探針卡。
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