[發明專利]一種超導強場磁控濺射陰極的絕緣絕熱和密封結構

有效

• 申請號: 201710073591.9
• 申請日: 2017-02-10
• 公開（公告）號: CN106801217B
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 邱清泉;汪天龍;屈飛;靖立偉;張國民;肖立業
• 申請（專利權）人: 中國科學院電工研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;F16J15/10;F16L59/065
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 關玲

1.一種超導強場磁控濺射陰極的絕緣絕熱和密封結構，其特征在于：所述的超導強場磁控濺射陰極的絕緣絕熱和密封結構由超導線圈(1)、內磁軛(2)、外磁軛(3)、底磁軛(4)、第一玻璃鋼墊片(5)、第二玻璃鋼墊片(6)、杜瓦端蓋(7)、杜瓦底座(8)、通電導體(9)、玻璃鋼套管(10)、大四氟墊圈(11)、不銹鋼墊圈(12)、小四氟墊圈(13)，以及陰極托架(14)構成；外磁軛(3)位于內磁軛(2)的外部，底磁軛(4)位于內磁軛(2)和外磁軛(3)的底部，超導線圈(1)安裝在內磁軛(2)、外磁軛(3)和底磁軛(4)之間；所述的超導線圈(1)、內磁軛(2)、外磁軛(3)和底磁軛(4)安裝在杜瓦端蓋(7)和杜瓦底座(8)包圍的空間中；大四氟墊圈(11)位于杜瓦底座(8)的下方，不銹鋼墊圈(12)位于大四氟墊圈(11)的下方，小四氟墊圈(13)安裝在杜瓦底座(8)的下方；陰極托架(14)安裝在不銹鋼墊圈(12)的下方、小四氟墊圈(13)的外部，用于支撐磁控濺射陰極；超導線圈(1)與杜瓦端蓋(7)之間采用第一玻璃鋼墊片(5)支撐和絕緣，超導線圈(1)與和底磁軛(4)之間采用第二玻璃鋼墊片(6)支撐和絕緣，通電導體(9)與杜瓦底座(8)之間采用玻璃鋼套管(10)進行絕緣；杜瓦底座(8)采用真空夾層結構或填充發泡材料，以降低熱損耗，便于采用常溫密封結構進行真空密封。

2.如權利要求1所述的超導強場磁控濺射陰極的絕緣絕熱和密封結構，其特征在于：所述的杜瓦底座(8)和不銹鋼墊圈(12)之間采用大四氟墊圈(11)配合密封圈進行密封和絕緣，大四氟墊圈(11)、不銹鋼墊圈(12)、小四氟墊圈(13)和杜瓦底座(8)之間采用玻璃鋼螺栓或帶玻璃鋼絕緣套管的金屬螺栓進行緊固；不銹鋼墊圈(12)和陰極托架(14)之間采用密封圈進行密封并采用普通金屬螺栓緊固。