[發明專利]用于多點掃描顯微的設備和方法

有效

• 申請號: 201710073108.7
• 申請日: 2017-02-10
• 公開（公告）號: CN107064082B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 蒂莫·安胡特;丹尼爾·施韋特;托比亞斯·考夫霍爾德;布克哈德·羅舍爾;斯特凡·威廉
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G02B21/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 魯山;孫志湧

1.一種用于多點掃描顯微的設備，所述設備具有：

多色光源，所述多色光源用于提供至少一個照射光束，

分束設備，所述分束設備用于將所述照射光束分束成多個照射子光束，

第一光學裝置，所述第一光學裝置用于提供照射光路，所述照射光路用于將單獨的照射子光束分別引導并且聚焦到待檢驗的樣本上或所述樣本中的光斑中，

掃描單元，所述掃描單元用于在所述樣本上方引導所述光斑，

檢測單元，所述檢測單元用于檢測在用所述單獨的照射子光束輻照之后，檢測子光束中的由所述樣本輻射的檢測光，

第二光學裝置，所述第二光學裝置用于提供檢測光路，所述檢測光路用于將所述檢測子光束引導到所述檢測單元，以及

控制和評價單元，所述控制和評價單元用于控制所述掃描單元并且用于評價由所述檢測單元檢測到的檢測光，

所述設備的特征在于

在所述照射子光束中的至少兩個照射子光束的照射光路中，存在用于獨立地設定相應的照射子光束的光譜組成的可控光束操縱裝置，

所述控制和評價單元被設計成控制所述光束操縱裝置，

在所述檢測子光束中的至少兩個檢測子光束的檢測光路中，存在可控光譜選擇裝置，所述可控光譜選擇裝置用于獨立地影響經由相應的檢測子光束傳遞到所述檢測單元的檢測光的光譜組成，并且

所述控制和評價單元還被設計成控制所述光譜選擇裝置。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

在每個照射子光束的照射光路中，存在光束操縱裝置，所述光束操縱裝置用于獨立地設定所述照射子光束的光譜組成。

3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

在每個檢測子光束的檢測光路中，存在可控光譜選擇裝置，所述可控光譜選擇裝置用于獨立地影響經由相應的檢測子光束傳遞到所述檢測單元的檢測光的光譜組成。

4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

所述檢測單元具有多個單獨的檢測器，所述多個單獨的檢測器用于測量所述樣本上的特定光斑發射的檢測光。

5.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

所述檢測光路中的光學構件保持點擴散函數。

6.根據權利要求1或3所述的設備，其特征在于

所述可控光譜選擇裝置保持點擴散函數。

7.根據權利要求4所述的設備，其特征在于

所述單獨的檢測器分別是空間分辨檢測器。

8.根據權利要求4所述的設備，其特征在于

所述單獨的檢測器選自由二維光電二極管陣列、單光子雪崩光電二極管陣列(SPAD陣列)、微通道板和光纖耦合光電倍增器構成的組。

9.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

所述光束操縱裝置具有多個聲光元件。

10.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

所述光束操縱裝置具有選自由AOM、AOD和AOTF構成的組的多個聲光元件。

11.根據權利要求1所述的設備，其特征在于

所述光束操縱裝置具有至少一個多通道AOTF。

12.根據權利要求11所述的設備，其特征在于

所述至少一個多通道AOTF的不同通道的控制信號具有相對于彼此的恒定相位。

13.根據權利要求11所述的設備，其特征在于

在接通處理之后的所述空間多通道AOTF的不同通道的控制信號具有相對于彼此的恒定相位。

14.根據權利要求11所述的設備，其特征在于

空間上相鄰通道的所述多通道AOTF的激發信號具有90°+n×180°的相對相位距離，其中，n是整數。