[發(fā)明專利]一種用于單晶生長爐的真空除塵設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710071972.3 | 申請日： | 2017-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN106669301B | 公開（公告）日： | 2022-06-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張承臣;李恒盛;馬守林;趙威;林俊海;趙旭倫;張先文 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽隆基電磁科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D46/02 | 分類號： | B01D46/02;B01D46/04;B01D46/42;B01D46/44;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 113122 遼寧省撫*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 生長 真空 除塵 設(shè)備 | ||
【權(quán)利要求書】：
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