[發明專利]一種光刻膠及其應用方法

在審

• 申請號: 201710071305.5
• 申請日: 2017-02-09
• 公開（公告）號: CN106773533A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 陶虎;秦楠;姜建娟;夏小霞;錢志剛
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所31219
• 代理人: 唐棉棉

1.一種光刻膠，其特征在于，所述光刻膠為基因重組蜘蛛絲蛋白。

2.根據權利要求1所述的光刻膠，其特征在于：所述基因重組蜘蛛絲蛋白的分子量為1～500KDa。

3.根據權利要求1所述的光刻膠，其特征在于：所述基因重組蜘蛛絲蛋白的形態為液體或者固體粉末。

4.一種如權利要求1～3任一項所述光刻膠的應用方法，其特征在于，所述應用方法包括：

1)將所述光刻膠溶于水中，所述光刻膠為基因重組蜘蛛絲蛋白，從而形成基因重組蜘蛛絲蛋白水溶液；

2)提供一基底，將所述基因重組蜘蛛絲蛋白水溶液涂覆于所述基底上，干燥并固化形成基因重組蜘蛛絲蛋白薄膜；

3)對所述基因重組蜘蛛絲蛋白薄膜進行曝光；

4)將所述曝光后的基因重組蜘蛛絲蛋白薄膜樣品置于水中顯影并干燥，獲得基因重組蜘蛛絲蛋白結構。

5.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：在所述步驟2)和3)之間，還包括對所述基因重組蜘蛛絲蛋白薄膜進行交聯化處理的步驟。

6.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述步驟1)中的水為超純水，電阻率不小于18MΩ·cm。

7.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述基因重組蜘蛛絲蛋白水溶液的濃度為1μg/L～1g/ml。

8.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述步驟2)中，所述涂覆為滴涂或者旋涂，滴涂時所用基因重組蜘蛛絲蛋白體積為0.1～1000μL；旋涂時所用基因重組蜘蛛絲蛋白體積為0.1～1000μL，轉速為1～10000r/min，旋涂時間為1s～1h。

9.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述步驟2)中，采用15～35℃干燥，干燥時間0.1h～48h；固化采用烘箱加熱，固化溫度為70～130℃，固化時間0.1～300 min。

10.根據權利要求5所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述交聯化處理方式為交聯劑處理或者水蒸氣退火處理，采用的交聯劑為甲醇，交聯時間為1s～1000h；采用水蒸氣退火，退火溫度為1～100℃，時間為1s～1000h，壓力為-100KPa～100KPa。

11.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述步驟3)中，所述曝光為電子束曝光或者聚焦離子束曝光，電子束曝光的加速電壓為0.1～200kV，束流為0.1～1000pA，曝光劑量為0.1～10⁷μC/cm²；聚焦離子束的加速電壓為1～200kV,束流為1～10000pA,曝光劑量為0.1～10⁸μC/cm²。

12.根據權利要求4所述的光刻膠的應用方法，其特征在于：所述步驟4)中，所述顯影所用為超純水，電阻率不小于18MΩ·cm，顯影時間為1s～10h，干燥方式為25℃常壓下干燥，時間1s～100h。