[發明專利]一種光阻涂布裝置及噴嘴有效
| 申請號： | 201710071174.0 | 申請日： | 2017-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN106938222B | 公開（公告）日： | 2019-03-22 |
| 發明（設計）人： | 何恒忠 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | B05B1/00 | 分類號： | B05B1/00;B05B1/30;G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光阻涂布 裝置 噴嘴 | ||
【權利要求書】：
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