[發(fā)明專利]具有基于拍攝圖像的移送控制的裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710070796.1
• 申請日: 2017-02-09
• 公開（公告）號: CN107086195A
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 根岸克治;田中萬平
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,于靖帥

1.一種裝置，其中，該裝置具有：

保持構(gòu)件，其對被加工物進(jìn)行保持；

作用構(gòu)件，其對該保持構(gòu)件所保持的被加工物實(shí)施作用；

移動構(gòu)件，其使該保持構(gòu)件與該作用構(gòu)件相對地移動；

拍攝構(gòu)件，其對該保持構(gòu)件借助該移動構(gòu)件的動作而移動的區(qū)域進(jìn)行拍攝；

基本圖像存儲構(gòu)件，其存儲有與該保持構(gòu)件或該作用構(gòu)件的適當(dāng)?shù)膭幼飨鄬?yīng)的基本圖像；以及

控制構(gòu)件，其對該拍攝構(gòu)件所拍攝的圖像和該基本圖像存儲構(gòu)件中所存儲的基本圖像進(jìn)行比較而對該移動構(gòu)件或該作用構(gòu)件進(jìn)行控制以使兩圖像一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，

該裝置具有顯示構(gòu)件，在即便該控制構(gòu)件對該拍攝構(gòu)件所拍攝的圖像和該基本圖像存儲構(gòu)件中所存儲的基本圖像進(jìn)行比較而對該移動構(gòu)件或該作用構(gòu)件進(jìn)行控制以使兩圖像一致但兩圖像也不一致的情況下，在該顯示構(gòu)件中顯示出錯誤。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，

該裝置是劃片裝置、激光加工裝置、磨削裝置中的任意裝置。