[發明專利]超聲波傳感器及超聲波傳感器的制造方法在審
| 申請號： | 201710069870.8 | 申請日： | 2017-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN108400231A | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發明（設計）人： | 侯美珍;馬炳乾;駱劍鋒 | 申請（專利權）人： | 南昌歐菲生物識別技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L41/04 | 分類號： | H01L41/04;H01L41/053;H01L41/25;G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 張潤 |
| 地址： | 330013 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 超聲波傳感器 樹脂 壓焊 壓電陶瓷柱 玻璃化 熱膨脹系數 高溫環境 矩陣排布 變形的 形變 對位 填充 制造 膨脹 轉化 | ||
1.一種超聲波傳感器，其特征在于包括：
呈矩陣排布的多個壓電陶瓷柱；和
填充于所述多個壓電陶瓷柱之間的樹脂，所述樹脂在220℃內的熱膨脹系數小于或等于60ppm/℃，所述樹脂的玻璃化轉化溫度大于220℃。
2.如權利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述壓電陶瓷柱的居里溫度為360℃～490℃。
3.如權利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述壓電陶瓷柱包括鋯鈦酸鉛壓電陶瓷。
4.如權利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述鋯鈦酸鉛壓電陶瓷的型號包括PZT-4、PZT-5或PZT-8。
5.如權利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述壓電陶瓷柱體積分數為40％～70％，所述樹脂的體積分數為30％～60％。
6.如權利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述樹脂包括聚四氟乙烯或聚酰亞胺。
7.如權利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于，所述壓電陶瓷柱及所述樹脂形成壓電層，所述壓電層的厚度小于或等于0.1mm。
8.一種超聲波傳感器的制造方法，其特征在于包括以下步驟：
提供壓電陶瓷層，切割所述壓電陶瓷層以形成呈矩陣排布的多個壓電陶瓷柱；和
將樹脂填充至所述多個壓電陶瓷柱之間并固化，所述樹脂在220℃內的熱膨脹系數小于或等于60ppm/℃，所述樹脂的玻璃化轉化溫度大于220℃。
9.如權利要求8所述超聲波傳感器的制造方法，其特征在于包括：
研磨所述壓電陶瓷柱及所述樹脂形成的壓電層的兩個表面。
10.如權利要求8所述的超聲波傳感器的制造方法，其特征在于包括：
所述壓電陶瓷柱體積分數為40％～70％，所述樹脂的體積分數為30％～60％。
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