[發明專利]用于基于網的處理的無掩模平版印刷有效
| 申請號： | 201710069376.1 | 申請日： | 2014-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN106896647B | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發明（設計）人： | 克里斯多佛·本徹 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F7/24;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 基于 處理 無掩模 平版印刷 | ||
【權利要求書】：
1.一種處理設備，包括：
輥，所述輥設置在腔室主體中；
對準測量裝置，所述對準測量裝置用于在基板與所述輥接觸時檢測所述基板中的扭曲；
CPU，所述CPU計算所述基板中的所述扭曲的多點拖尾均值；和
處理裝置，所述處理裝置光刻處理所扭曲的基板，
其中，基于整個基板的所述扭曲的多點拖尾均值處理所述所扭曲的基板。
2.如權利要求1所述的處理設備，其中所述對準測量裝置包括相機。
3.如權利要求2所述的處理設備，其中基于檢測的對準標記處理所述所扭曲的基板。
4.如權利要求3所述的處理設備，其中所述處理設備是幅網處理系統。
5.如權利要求1所述的處理設備，其中基于檢測的對準標記處理所述所扭曲的基板。
6.如權利要求5所述的處理設備，其中所述處理設備是幅網處理系統。
7.如權利要求1所述的處理設備，其中所述處理設備是幅網處理系統。
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