[發明專利]用于光伏組件生產線的清洗設備以及清洗方法在審
| 申請號: | 201710068181.5 | 申請日: | 2017-02-07 |
| 公開(公告)號: | CN106783696A | 公開(公告)日: | 2017-05-31 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 金海平 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 318000 浙江省臺*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 組件 生產線 清洗 設備 以及 方法 | ||
1.用于光伏組件生產線的清洗設備,其特征在于,包括縱橫排列的第一清洗室、第二清洗室、第三清洗室、第四清洗室、第五清洗室、第六清洗室、第七清洗室、第八清洗室、第九清洗室、第一干燥室、第二干燥室、第三干燥室和第四干燥室;每個清洗室都包括上室體和下室體,其中上室體具有一組隔板一、一組隔板二和一組隔板三,隔板一包圍出清洗槽,隔板二包圍在隔板一的外側,隔板二與隔板一之間形成進液腔,隔板三包圍在隔板二的外側,隔板三構成上室體的外壁,隔板三與隔板二之間形成加熱腔,加熱腔內設有電加熱器;隔板一具有至少兩個帶開關閥的入液口,清洗槽內還設有至少兩組噴淋管,每組噴淋管兩兩相對地固定在隔板一的內壁上,每個噴淋管上開設有若干個噴淋孔,且噴淋孔呈間隔地上下分布;每組噴淋管依次首尾相連,每組噴淋管的第一個噴淋管的進口固接入液管,入液管與隔板一的一個入液口連接,入液管和入液口之間還設有密封塞;進液腔的底部具有帶開關閥的進液口,進液管穿設下室體并與進液口相連,進液管和進液口之間設有密封塞;清洗槽的底部具有帶開關閥的出液口,排液管穿設下室體并與出液口相連,排液管和出液口之間設有密封塞;第二清洗室的進液口連接進液管二,進液管二與去離子水罐相連,第二清洗室的出液口連接排液管二,排液管二與廢液池相連,進液管二和排液管二上均設有液泵;第四清洗室的進液口連接進液管四,進液管四與酸性溶液儲液罐一相連,第四清洗室的出液口連接排液管四,排液管四與廢液池相連,進液管四和排液管四上均設有液泵;第五清洗室的進液口連接進液管五,進液管五與去離子水罐相連,第五清洗室的出液口連接排液管五,排液管五與廢液池相連,進液管五和排液管五上均設有液泵;第六清洗室的進液口連接進液管六,進液管六與堿性溶液儲液罐相連,第六清洗室的出液口連接排液管六,排液管六與廢液池相連,進液管六和排液管六上均設有液泵;第七清洗室的進液口連接進液管七,進液管七與去離子水罐相連,第七清洗室的出液口連接排液管七,排液管七依次穿設第三干燥室、第八清洗室和第四干燥室,并延伸至第一清洗室,排液管七與第一清洗室的進液口相連,進液管七和排液管七上均設有液泵;第一清洗室的出液口連接排液管一,排液管一依次穿設第一干燥室和第三清洗室,并與廢液池相連,排液管一上設有液泵;第八清洗室的進液口連接進液管八,進液管八與酸性溶液儲液罐二相連,第八清洗室的出液口連接排液管八,排液管八穿設第四干燥室并延伸至第三清洗室,排液管八與第三清洗室的進液口相連,進液管八和排液管八上均設有液泵;第三清洗室的出液口連接排液管三,排液管三與廢液池相連,排液管三上設有液泵;第九清洗室的進液口連接進液管九,進液管九與去離子水罐相連,第九清洗室的出液口連接排液管九,排液管九依次穿設第四干燥室、第一清洗室和第二干燥室并延伸至第五清洗室,排液管九與第五清洗室的進液口相連,進液管九和排液管九上均設有液泵。
2.根據權利要求1所述的用于光伏組件生產線的清洗設備,其特征在于,排液管三依次穿設第一干燥室和第四清洗室,并與廢液池相連;進液管四依次穿設第三清洗室和第一干燥室,并延伸至第四清洗室,排液管四依次穿設第二干燥室和第六清洗室,并與廢液池相連;進液管五依次穿設第四清洗室、第二干燥室,并延伸至第五清洗室,排液管五依次穿設第二干燥室、第六清洗室、第三干燥室和第七清洗室,并與廢液池相連;進液管六依次穿設第五清洗室和第二干燥室,并延伸至第六清洗室,排液管六依次穿設第三干燥室和第八清洗室,并與廢液池相連;進液管七依次穿設第六清洗室、第三干燥室,并延伸至第七清洗室;進液管八依次穿設第七清洗室和第三干燥室,并延伸至第八清洗室;進液管九依次穿設第八清洗室和第四干燥室,并延伸至第九清洗室。
3.根據權利要求1所述的用于光伏組件生產線的清洗設備,其特征在于,每個清洗室還包括一個低液位感應器、一個高液位感應器和一個溫度感應器,低液位感應器和高液位感應器分別固設在隔板一內壁的預設高度,溫度感應器固設在低液位感應器和高液位感應器之間,隔板一的入液口高于高液位感應器。
4.根據權利要求3所述的用于光伏組件生產線的清洗設備,其特征在于,隔板一還開設有溢流口,溢流口處于高液位感應器和溫度感應器之間,溢流口連接溢流管,溢流管和溢流口之間設有密封塞;溢流管穿設進液腔和下室體,并與廢液池相連。
5.根據權利要求1所述的用于光伏組件生產線的清洗設備,其特征在于,隔板三采用隔熱材料,隔板二采用導熱材料,隔板一采用保溫材料。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





