[發明專利]一種高強度石英坩堝

在審

• 申請號: 201710067324.0
• 申請日: 2017-02-07
• 公開（公告）號: CN108398014A
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 劉福鴻;陳寶昌
• 申請（專利權）人: 江蘇華爾石英材料股份有限公司
• 主分類號: F27B14/10
• 分類號: F27B14/10;H01L31/18;C30B35/00
• 代理公司: 南京申云知識產權代理事務所(普通合伙) 32274
• 代理人: 邱興天

1.一種高強度石英坩堝，其特征在于，包括石英坩堝本體、截面呈圓環形的內環形板、截面呈圓環形的外環形板，所述內環形板外圓周上固定有4個螺紋柱，所述石英坩堝本體側壁具有4個盲孔和4個第一通孔，所述外環形板具有4個第二通孔和4個定位柱，每個螺紋柱穿過一個第一通孔和一個第二通孔，每個螺紋柱上穿設有一個螺母，每個定位柱插入一個盲孔內。

2.根據權利要求1所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述內環形板的外徑等于石英坩堝本體的內徑，所述石英坩堝本體的外徑等于所述外環形板的內徑。

3.根據權利要求1所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述石英坩堝本體包括底部、側壁和連接底部與側壁的連接部，所述側壁呈圓柱環形，所述底部為平面形狀。

4.根據權利要求3所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述側壁的內側、連接部的內側和底部的內側均具有氫氧化鋇涂層。

5.根據權利要求1所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述4個第一通孔位于同一水平高度且等間距分布，所述4個盲孔位于同一水平高度且等間距分布，所述第一通孔的水平高度高于所述盲孔的水平高度。

6.根據權利要求5所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述第一通孔的軸線距離石英坩堝本體邊緣的距離小于5cm。

7.根據權利要求5所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述內環形板由4個相同的弧形板焊接而成；所述外環形板由2個相同的半圓環形板焊接而成。

8.根據權利要求1所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述內環形板、外環形板均由不銹鋼制成。

9.根據權利要求1所述的高強度石英坩堝，其特征在于，所述外環形板上還具有多個位于同一水平高度的第三通孔，所述第三通孔高于所述第二通孔。