[發明專利]激光振蕩裝置

有效

• 申請號: 201710067192.1
• 申請日: 2017-02-06
• 公開（公告）號: CN107046218B
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 高實哲久
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: H01S3/04
• 分類號: H01S3/04;H01S3/041;H01S3/034
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發明提供一種能夠抑制激光介質循環管的膨脹的激光振蕩裝置。激光振蕩裝置具備：諧振器部，其具有導入口和排出口，該諧振器部生成激光；激光介質循環管，其一端與導入口連接，另一端與排出口連接；鼓風機，其以將激光介質從導入口導入到諧振器部、將被導入到諧振器部的激光介質從排出口排出的方式使激光介質流動；以及絕熱機構，其設置在激光介質循環管的內部，該絕熱機構將在該激光介質循環管中流動的激光介質與激光介質循環管之間的熱傳導切斷。

技術領域

本發明涉及一種具備激光介質循環管的激光振蕩裝置。

背景技術

已知一種為了使向生成激光的諧振器部供給的激光介質循環而具備激光介質循環管和鼓風機的激光振蕩裝置(例如日本特開平7-231129號公報)。

從正進行放電的諧振器部排出的激光介質變為高溫。通過像這樣變為高溫的激光介質，而激光介質循環管被加熱，由此激光介質循環管可能發生熱膨脹。存在這樣的激光介質循環管的膨脹使諧振器部的結構部件移位的風險，因此期望抑制該膨脹。

發明內容

在本發明的一個方式中，激光振蕩裝置具備：諧振器部，其具有用于導入激光介質的導入口和用于排出激光介質的排出口，該諧振器部生成激光；以及激光介質循環管，其一端與導入口連接，另一端與排出口連接。

另外，激光振蕩裝置具備：鼓風機，其設置于所述激光介質循環管，該鼓風機以將激光介質從導入口導入到諧振器部、將被導入到諧振器部的激光介質從排出口排出的方式使該激光介質流動；以及絕熱機構，其設置在激光介質循環管的內部，該絕熱機構將在該激光介質循環管中流動的激光介質與激光介質循環管之間的熱傳導切斷。

也可以是，絕熱機構以遍及另一端與激光介質循環管中的比該另一端靠下游側的位置之間的區間的方式設置。絕熱機構也可以具有安裝于激光介質循環管的內表面的絕熱件。

也可以是，絕熱機構具有絕熱管，該絕熱管與激光介質循環管的內表面相離地配置于該激光介質循環管的內側，并沿著激光介質循環管延伸。在該情況下，從排出口排出的激光介質流入到絕熱管，但不流入到激光介質循環管與絕熱管之間的間隙。

絕熱管也可以在其上游側的端部或下游側的端部處被激光介質循環管支承。也可以是，絕熱機構具有整流機構，該整流機構對在激光介質循環管中流動的激光介質的流動進行整流。

也可以是，整流機構具有分隔壁，該分隔壁將激光介質循環管的內部的、沿著與激光介質循環管的長度方向交叉的平面的截面區域分隔為多個區域。也可以是，整流機構具有凸部，該凸部形成為從激光介質循環管的內表面突出。

也可以是，激光介質循環管具有彎曲部，該彎曲部無接合處且光滑地彎曲延伸。也可以是，激光介質循環管具有直管部，該直管部從另一端向下游側筆直地延伸。直管部也可以具有該直管部的當量直徑的3倍以上的長度。

也可以是，激光介質循環管具有波紋部，該波紋部與另一端相鄰地設置。也可以是，激光振蕩裝置還具備熱交換器，該熱交換器配置在鼓風機與排出口之間，來從在激光介質循環管中流動的激光介質去除熱。也可以是，絕熱機構以遍及另一端與熱交換器之間的區間的方式設置。

附圖說明

通過參照附圖來說明以下的優選的實施方式，本發明的上述或其它目的、特征和優點會變得更加明確。

圖1是一個實施方式所涉及的激光振蕩裝置的圖。

圖2是表示圖1所示的絕熱機構的一例的圖，以截面示出激光介質循環管的第一管。

圖3是表示圖1所示的絕熱機構的其它例的圖，以截面示出激光介質循環管的第一管。

圖4是表示圖1所示的絕熱機構的另一其它例的圖，以截面示出激光介質循環管的第一管。

圖5是其它實施方式所涉及的激光振蕩裝置的圖。