[發明專利]一種超分辨可溯源的白光干涉原子力探針標定裝置及標定方法有效
| 申請號： | 201710065121.8 | 申請日： | 2017-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN106940389B | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 盧文龍;楊文軍;劉曉軍;胡遲;周莉萍 | 申請（專利權）人： | 華中科技大學 |
| 主分類號： | G01Q40/00 | 分類號： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 張英 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 標定 白光干涉 標定裝置 原子力探針 超分辨 溯源 垂直位移 定位算法 計量系統 零級條紋 探針產生 條紋位置 彎曲模型 形變 掃描顯微鏡 干涉條紋 核心技術 掃描探針 探針懸臂 準確測量 原子力 擬合 | ||
【權利要求書】：
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