[發明專利]無掩膜實時微納打碼系統

有效

• 申請號: 201710064032.1
• 申請日: 2017-02-04
• 公開（公告）號: CN106773552B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 梅文輝;汪孝軍;廖平強
• 申請（專利權）人: 深圳市優盛科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙) 44286
• 代理人: 馮漢橋

1.一種無掩膜實時微納打碼系統，其特征在于：包括:

打碼數據生成服務器，按照固定的編碼規則，對FPC基材上不同位置的工程圖形來實時進行編碼，并生成若干具體的不相重復的編碼圖形；

光學引擎機構，用于將實時生成的編碼圖形實時光刻在FPC基材上；

對位機構，用于識別FPC基材上用于確定編碼圖形位置的標記點，從而使光學引擎機構能夠將編碼圖形光刻在FPC基材上的標記點處，且所述對位機構識別一組標記點，打碼數據生成服務器即生成一組相應的編碼圖形，光學引擎機構即刻將該編碼圖形光刻在FPC基材上；

卷到卷上下料機構，用于實現FPC基材的輸送及收集，其包括用于將FPC基材送入光學引擎機構進行打碼的卷進上料機構及將打碼完成的FPC基材回收的卷出卸料機構，

自監測反饋機構，用于檢測FPC基材上的編碼圖形是否準確，

精密運動平臺，用于控制光學引擎機構和對位機構的精準移動，

所述光學引擎機構通過基板安裝于精密運動平臺上，且光學引擎機構的光學鏡頭下方設有分光鏡，分光鏡下方設有照明環形燈，

所述自監測系統裝置包括第一視覺裝置、第二視覺裝置及所述分光鏡，所述第一視覺裝置及第二視覺裝置分別設置于分光鏡兩側，所述分光鏡位于光學引擎機構的光學鏡頭的光軸上,且通過第一視覺裝置識別從數據服務器生成的編碼圖形；通過第二視覺裝置識別光刻在FPC基材上的編碼圖形。

2.根據權利要求1所述的無掩膜實時微納打碼系統，其特征在于：所述卷到卷上下料機構帶有保證整卷的FPC基材在上下料過程中不發生側向的偏移糾偏裝置。

3.根據權利要求2所述的無掩膜實時微納打碼系統，其特征在于：所述卷進上料機構包括卷有FPC基材的上料輥輪、及用于張緊FPC基材的上料張緊力調節輥輪和壓緊FPC基材的上料壓緊輥輪；卷出卸料機構包括有用于收卷打好碼的FPC基材的卸料輥輪、及用于張緊FPC基材的卸料張緊力調節輥輪和壓緊FPC基材的卸料壓緊輥輪。

4.根據權利要求1所述的無掩膜實時微納打碼系統，其特征在于：所述對位機構包括兩套安裝于精密運動平臺的Y軸移動機構上的對位CCD組件及運動控制裝置，且對位CCD組件分別位于光學引擎機構的兩側，所述對位CCD組件均通過對應的運動控制裝置控制其在垂直于FPC基材運動方向的移動。

5.根據權利要求1所述的無掩膜實時微納打碼系統，其特征在于：所述第一視覺裝置及第二視覺裝置均包括工業CCD、光學放大鏡頭和照明光源，其中第一視覺裝置的焦面位于分光鏡的鏡面，第二視覺裝置的焦面與光學鏡頭的焦面一致。