[發(fā)明專利]檢測裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710063652.3
• 申請日: 2017-02-03
• 公開（公告）號: CN107037772B
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發(fā)明（設計）人: 田中雅人;相川智彥
• 申請（專利權）人: 阿自倍爾株式會社
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05;G05B13/00;G06Q10/00;H01L21/67
• 代理公司: 31300 上海華誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 肖華

本發(fā)明的檢測裝置以及方法強化控制器層次上的以操作人員狀態(tài)為對象的FD/FP功能。本發(fā)明的檢測裝置包括：操作檢測部(1)，其檢測操作人員對控制器的操作；顯示時間合計部(2)，其根據(jù)操作檢測部(1)的檢測結果，對控制器根據(jù)操作人員的操作而顯示被設想通常不會閱覽的基本設定確認畫面的顯示累積時間進行合計并加以保持；重置部(3)，在從外部接收到重置信號時，其將顯示時間合計部(2)中所保持的顯示累積時間重置為0；信息輸出部(4)，其對外部輸出顯示累積時間的信息；以及警報輸出部(5)，在顯示累積時間超過預先規(guī)定的閾值時，其對外部輸出警報。

技術領域

本發(fā)明涉及一種檢測裝置及方法，該檢測裝置及方法對控制器等對象設備顯示特定畫面的顯示程度進行合計來檢測操作對象設備的操作人員的狀態(tài)，由此可檢測或預測操作人員的操作的不良狀況。

背景技術

在半導體制造裝置中，EES(Equipment Engineering System)正向實用階段轉移。EES是利用數(shù)據(jù)來檢查半導體制造裝置是否在正常地發(fā)揮功能、從而提高裝置的可靠性和生產率的系統(tǒng)。EES的主要目的為以裝置本身為對象的故障檢測(FD：Fault Detection)、故障預測(FP：Fault Prediction)(參考非專利文獻1)。

FD/FP有裝置控制層次、模塊層次、子系統(tǒng)層次、I/O設備層次等層次化的掌握方法。裝置控制層次的FD/FP是監(jiān)視/檢測裝置功能是否在由主機或操作人員指示的處理條件的基礎上在裝置規(guī)格的容許范圍內進行動作。模塊層次的FD/FP是監(jiān)視/檢測由設備或子系統(tǒng)構成的模塊是否能夠按照指示值來進行處理。子系統(tǒng)層次的FD/FP是監(jiān)視/檢測由進行反饋控制這樣的多個設備構成的復合系統(tǒng)是否在若干參數(shù)設定的基礎上穩(wěn)定地進行動作。I/O設備層次的FD/FP是監(jiān)視/檢測構成裝置的傳感器或執(zhí)行機構是否在按照設計值而穩(wěn)定地進行動作。如此，I/O設備層次的主體為傳感器或執(zhí)行機構。

關于執(zhí)行機構的FD/FP，可以說以(0,1)這一位串的數(shù)據(jù)(執(zhí)行機構數(shù)據(jù))來完成的序列控制性動作尤其是處于實用階段。

另一方面，關于傳感器的FD/FP，溫度、壓力、流量等過程量為對象數(shù)據(jù)。就這些數(shù)據(jù)而言，以msec.級保存所有數(shù)據(jù)并不合理。因此，提出有如下支持EES的基板處理裝置(參考專利文獻1)等：按照裝置所管理的每一處理單位或者每隔一定期間將傳感器的數(shù)據(jù)代表值化，檢查代表值化之后的值。所謂代表值，是指最大值、最小值、平均值等。若可通過這些代表值來實現(xiàn)FD/FP，則與監(jiān)視所有數(shù)據(jù)的情況相比，可大幅削減通信量、所需存儲量等，因此效率較高。

作為利用代表值的FD/FP，已知有由劣化引起的加熱器斷線的FP、由過電流引起的加熱器斷線的FD等。在加熱器發(fā)生劣化的情況下，加熱器的電阻值(非過程量)的平均值會逐漸上升，因此，若以加熱器的電阻值的平均值為代表值進行檢查，則可預測由劣化引起的加熱器的斷線。此外，在因過電流而導致加熱器斷線的情況下，加熱器的電阻值的最大值會突發(fā)性地上升，因此，若以加熱器的電阻值的最大值為代表值進行檢查，則可檢測由過電流引起的加熱器的斷線。

如此，只要是非過程量，F(xiàn)D/FP便可實用化。然而，在過程量的代表值化中，只有物理狀態(tài)是處理的對象，并不能處理操作人員的狀態(tài)，因此信息未必充分。由于EES的裝置內分散配置是對于提高EES的整體效率較為有效的安裝方法，因此，希望在伴有操作人員的操作的控制器層次上進一步強化FD/FP功能。

尤其是近年來，在控制器或者使用控制器來進行例如半導體的制造的制造裝置中，操作人員的操作用的畫面有時使用液晶顯示器等(參考專利文獻2)。在圖10的例子中，展示有與控制器(溫度調節(jié)器)100一體化的液晶顯示器101。在這種控制器中，有許多可切換的畫面，而且可選擇/調整的參數(shù)也涉及許多方面，因此，操作人員的操作變得復雜，從而希望強化以操作人員的狀態(tài)為對象的FD/FP功能。