[發明專利]MEMS裝置以及液體噴射頭

有效

• 申請號: 201710063629.4
• 申請日: 2017-02-03
• 公開（公告）號: CN107020819B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 平井榮樹;高部本規;塚原克智;長沼陽一;西面宗英
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

1.一種微機電裝置，其特征在于，具備：

多個可動區域；

配線，其從所述可動區域起沿著第一方向延伸；

電極，其與所述配線連接，

所述電極具有與其他的電極端子連接的連接區域，

所述連接區域沿著與所述第一方向交叉的第二方向而配置有多個，

在所述第二方向上相鄰的所述連接區域的中心間的距離長于在所述第二方向上相鄰的所述可動區域的中心間的距離，

在所述第二方向上相鄰的所述電極的所述第一方向上的端部的位置彼此不同，

在所述第二方向上相鄰的所述配線的所述第一方向上的端部的位置彼此相同。

2.如權利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，

以在所述第一方向上位置不同的方式而具備多個連接區域列，所述連接區域列由在所述第一方向上位置一致的多個所述連接區域構成。

3.如權利要求2所述的微機電裝置，其特征在于，

所述可動區域、所述配線以及所述電極被配置在第一基板上，

被夾在所述第一基板與設置有所述其他的電極端子的第二基板之間的絕緣物，被形成在所述第一基板上的在所述第一方向上相鄰的所述連接區域列之間。

4.如權利要求3所述的微機電裝置，其特征在于，

所述配線與所述電極連接的接觸區域被所述絕緣物覆蓋。

5.如權利要求1至權利要求4中任意一項所述的微機電裝置，其特征在于，

在所述第二方向上相鄰的所述連接區域的中心間的距離為在所述第二方向上相鄰的所述可動區域的中心間的距離的2倍以上。

6.一種液體噴射頭，其特征在于，

權利要求1至權利要求5中的任意一項所述的微機電裝置為所述液體噴射頭，所述液體噴射頭具備：

壓力室，其至少一部分是由所述可動區域劃分形成的；

壓電元件，其使所述可動區域進行位移；

噴嘴，其與所述壓力室連通，

其中，

所述電極為經由所述配線向所述壓電元件發送驅動信號的單獨端子。