[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光顯示裝置和制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710063550.1 | 申請(qǐng)日: | 2017-02-03 |
| 公開(公告)號(hào): | CN107026247B | 公開(公告)日: | 2020-11-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 權(quán)寧吉;金圣雄;崔鎮(zhèn)百 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L51/56 | 分類號(hào): | H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
| 代理公司: | 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;宋志強(qiáng) |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 有機(jī) 發(fā)光 顯示裝置 制造 方法 | ||
1.一種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法,所述方法包括:
在包括第一電極的基底上形成剝離層,所述剝離層包括含氟聚合物;
在所述剝離層上形成圖案層;
利用第一溶劑蝕刻所述圖案層的圖案之間的所述剝離層,以暴露所述第一電極;
在所述第一電極和所述圖案層上形成有機(jī)功能層,所述有機(jī)功能層包括發(fā)射層;
利用第二溶劑去除所述剝離層的剩余部分;以及
在所述有機(jī)功能層上形成第二電極,
其中所述圖案層包括:包括具有比所述剝離層的表面能更大的表面能的材料的第一圖案層;和包括具有比所述第一圖案層的表面能更小的表面能的材料的第二圖案層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述含氟聚合物包括20重量%至76重量%的氟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述圖案層通過印刷法形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其中所述第一圖案層和所述第二圖案層同時(shí)形成在所述剝離層上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其中所述圖案層包括非氟基聚合物材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其中所述圖案層包括含有小于20重量%的氟的氟基聚合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一圖案層包括非氟基聚合物材料,所述第二圖案層包括含氟表面活性劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一圖案層圍繞所述第二圖案層。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述有機(jī)功能層進(jìn)一步包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層和/或電子注入層。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述有機(jī)功能層通過沉積工藝形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一溶劑包括氟。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第二溶劑包括氟。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,當(dāng)蝕刻所述圖案層的圖案之間的所述剝離層時(shí),所述剝離層在所述圖案層下形成底切輪廓。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,進(jìn)一步包括:形成圍繞所述第一電極的邊緣的像素限定層。
15.一種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法,所述方法包括:
在基底上形成多個(gè)第一電極;
執(zhí)行第一單元工藝,執(zhí)行所述第一單元工藝包括:
在包括所述多個(gè)第一電極的所述基底上形成剝離層,所述剝離層包括含氟聚合物;
在所述剝離層上形成具有設(shè)定形狀的圖案層;
利用第一溶劑蝕刻在所述圖案層的圖案之間的所述剝離層,以暴露所述多個(gè)第一電極中的第一個(gè)第一電極;
在所述第一個(gè)第一電極和所述圖案層上形成第一有機(jī)功能層,所述第一有機(jī)功能層包括發(fā)射層;以及
利用第二溶劑去除所述剝離層的剩余部分;
在執(zhí)行所述第一單元工藝之后,執(zhí)行至少一次用于在所述多個(gè)第一電極中的與所述第一個(gè)第一電極不同的第二個(gè)第一電極上形成第二有機(jī)功能層的第二單元工藝,所述第二有機(jī)功能層被配置為發(fā)射與所述第一有機(jī)功能層的顏色不同的顏色的光;以及
在執(zhí)行所述第一單元工藝和所述第二單元工藝中的每個(gè)之后形成第二電極,
其中所述圖案層包括:包括具有比所述剝離層的表面能更大的表面能的材料的第一圖案層;和包括具有比所述第一圖案層的表面能更小的表面能的材料的第二圖案層。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機(jī)材料作有源部分或使用有機(jī)材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的;具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應(yīng)紅外線輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉(zhuǎn)換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的,如有機(jī)發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
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