[發明專利]氣體傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201710063478.2
• 申請日: 2017-02-03
• 公開（公告）號: CN108387617B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 蔡明志;何羽軒
• 申請（專利權）人: 華邦電子股份有限公司
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12;G01N27/02;G01N27/22
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

1.一種氣體傳感器，包括：

襯底；

輸出層，配置于所述襯底上；

傳感層，配置于所述輸出層上；以及

納米多孔聚合物膜，配置于所述傳感層上，其中所述傳感層用以傳感氣體分子，而所述納米多孔聚合物膜用以選擇性地過濾所述氣體分子。

2.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述納米多孔聚合物膜的孔洞的直徑為0.2納米至20納米。

3.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述納米多孔聚合物膜的厚度為0.05微米至150微米。

4.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述納米多孔聚合物膜的材料包括全氟磺酸聚合物、納米纖維素、醋酸纖維素(cellulose acetate)、聚砜(polysulfone)、聚乙烯胺(polyvinylamine)、聚酰胺(polyamide)、聚呋喃(polyfuran)的任二組合。

5.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述納米多孔聚合物膜包括離子型結構，且所述納米多孔聚合物膜上具有離子型的官能基。

6.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述輸出層包括電極，且所述傳感層的傳感材料包括硅、納米碳管、石墨烯。

7.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述襯底的表面包括平面、粗糙面、曲面或其組合。

8.一種氣體傳感器的制造方法，包括：

形成輸出層于襯底上；

形成傳感層于所述輸出層上；以及

形成納米多孔聚合物膜于所述傳感層上，其中所述形成輸出層、所述形成傳感層以及所述形成納米多孔聚合物膜的步驟所采用的方法包括三維打印。

9.根據權利要求8所述的氣體傳感器的制造方法，其中所述形成納米多孔聚合物膜的步驟包括三維打印及烘烤。

10.根據權利要求8所述的氣體傳感器的制造方法，其中所述形成納米多孔聚合物膜的步驟的方法包括進行溶液處理。