[發明專利]固支梁耦合在線式微波相位檢測器

在審

• 申請號: 201710062653.6
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106841803A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 廖小平;嚴德洋
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R25/00
• 分類號: G01R25/00;G01R21/02
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種固支梁耦合在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底(1)上制作SiO₂層(22)，在SiO₂層(22)上設有共面波導傳輸線、固支梁結構、功合器以及直接加熱式微波功率傳感器1和直接加熱式微波功率傳感器2，所述的共面波導傳輸線由共面波導傳輸線的信號線(2)和地線(3)構成，所述的固支梁結構由固支梁(4)、第一錨區(5)和第二錨區(6)構成；固支梁結構懸于共面波導傳輸線的信號線(2)的介質層(7)上方，固支梁結構的第一錨區(5)通過直接加熱式微波功率傳感器1的共面波導傳輸線的信號線(17)連接直接加熱式微波功率傳感器1，固支梁結構的第二錨區(6)通過功合器的第一共面波導傳輸線的信號線(10)連接功合器的輸入端，功合器的另一個輸入端通過功合器的第二共面波導傳輸線的信號線(11)連接到參考信號輸入端口，功合器的輸出端通過功合器的第三共面波導傳輸線的信號線(12)連接直接加熱式微波功率傳感器2。

2.根據權利要求1所述的固支梁耦合在線式微波相位檢測器，其特征是采用直接加熱式微波功率傳感器檢查微波功率，所述的直接加熱式微波功率傳感器1包括終端電阻(13)、半導體熱電偶臂(14)、直流輸出塊(15)、隔絕直流電容(16)和共面波導傳輸線的信號線(17)；直接加熱式微波功率傳感器2包括終端電阻(18)、半導體熱電偶臂(19)、直流輸出塊(20)和隔絕直流電容(21)。

3.根據權利要求1所述的固支梁耦合在線式微波相位檢測器，其特征是采用功合器進行功率合成，所述的功合器包括隔離電阻(8)、ACPS信號線(9)、第一共面波導傳輸線的信號線(10)、第二共面波導傳輸線的信號線(11)和第三共面波導傳輸線的信號線(12)組成。