[發明專利]一種Er摻雜的氮化鋁壓電薄膜材料在審
| 申請號： | 201710062647.0 | 申請日： | 2017-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN106835016A | 公開（公告）日： | 2017-06-13 |
| 發明（設計）人： | 楊成韜;泰智薇;胡現偉;牛東偉;唐佳琳 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/28 |
| 代理公司： | 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232 | 代理人： | 葛啟函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 er 摻雜 氮化 壓電 薄膜 材料 | ||
【權利要求書】：
1.一種Er摻雜的氮化鋁壓電薄膜材料，其特征在于，所述Er摻雜的氮化鋁壓電薄膜材料的化學式為ErxAl1-xN，其中，x為Er的含量，1-x為AlN的含量，x≦0.5。
2.根據權利要求1所述一種Er摻雜的氮化鋁壓電薄膜材料，其特征在于，所述Er摻雜的氮化鋁壓電薄膜材料通過反應磁控濺射法、真空蒸發鍍膜法或脈沖激光沉積法制備。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于電子科技大學，未經電子科技大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710062647.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種防止書本散落的自動整理圖書架
- 下一篇：一種病案科用存儲柜
- 同類專利
- 專利分類
