[發明專利]一種硅片邊緣保護裝置

有效

• 申請號: 201710060966.8
• 申請日: 2017-01-25
• 公開（公告）號: CN108345178B
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 蔡晨;王鑫鑫;劉臣才
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種硅片邊緣保護裝置，包括保護環，其特征在于，還包括固定機構和升降機構；所述保護環安裝在固定機構上，所述升降機構固定在曝光臺上并帶動所述固定機構升降，實現所述保護環貼近或離開所述硅片邊緣，同時實現同一尺寸規格的硅片曝光過程中不需保護環離開曝光臺，只需將保護環提升或側移實現硅片上下料，

所述固定機構包括安裝座和定位座，所述安裝座為半圓環形，

所述升降機構采用平行四邊形連桿機構。

2.根據權利要求1所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述保護環是環形結構，所述保護環中央為鏤空部分，邊緣為實體部分。

3.根據權利要求1所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述安裝座安裝在所述升降機構上，所述定位座固定在所述安裝座上，所述保護環固定于所述定位座與所述安裝座之間。

4.根據權利要求3所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述固定機構還包括定位靠銷，所述定位靠銷固定安裝在安裝座上并與所述保護環的邊緣貼合。

5.根據權利要求1所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述升降機構采用剪式升降機構或者側移機構。

6.根據權利要求5所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述剪式升降機構包括剪式升降架和線性軸承機構，所述剪式升降架和線性軸承機構的頂部均固定在固定機構底部，所述剪式升降架和線性軸承機構的底部均固定在曝光臺上。

7.根據權利要求6所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述剪式升降架包括剪式連桿機構和第一氣缸驅動機構，所述第一氣缸驅動機構安裝在剪式連桿機構上，所述剪式連桿機構一端固定在固定機構底部，另一端固定在曝光臺上。

8.根據權利要求7所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述剪式連桿機構包括底座和至少八根連桿，每四根連桿通過轉動軸相互鉸接形成一組平行四邊形連桿結構，八根連桿形成兩組平行四邊形連桿結構，所述兩組平行四邊形連桿結構相互連接并對稱設置，每組所述平行四邊形連桿結構一端滑動連接所述底座，并通過所述底座固定在曝光臺上，另一端滑動連接所述安裝座，所述第一氣缸驅動機構固定在所述底座上，并與所述兩組平行四邊形連桿結構連接。

9.根據權利要求5所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述側移機構包括鉸鏈桿機構、導向機構和第二氣缸驅動機構，所述鉸鏈桿機構、導向機構和第二氣缸驅動機構的一端均安裝在固定機構上，另一端安裝在曝光臺上，所述鉸鏈桿機構包括多根對稱分布形成平行四邊形的鉸鏈桿。

10.根據權利要求9所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述鉸鏈桿包括一根連桿和兩個鉸鏈，所述連桿的兩端分別通過所述兩個鉸鏈連接所述安裝座和曝光臺。

11.根據權利要求9所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述導向機構包括圓弧形導軌和滾輪，所述滾輪一端固定在安裝座上，另一端設置在所述圓弧形導軌中，所述圓弧形導軌固定在曝光臺上，所述圓弧形導軌的較低端面向所述硅片邊緣。

12.根據權利要求9所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述第二氣缸驅動機構包括氣缸和鉸鏈，所述氣缸分別通過鉸鏈與所述曝光臺以及固定機構連接。

13.根據權利要求1所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護裝置還包括接近傳感器，所述接近傳感器安裝在所述曝光臺上。

14.根據權利要求1所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述硅片邊緣保護裝置還包括銷定位組件，所述銷定位組件包括安裝在曝光臺上的銷釘和設置在所述保護環上與所述銷釘配合的銷孔。

15.根據權利要求14所述的一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述銷釘為圓錐銷，所述銷孔為與所述圓錐銷對應的圓錐銷孔。