[發(fā)明專利]用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710060502.7
• 申請日: 2017-01-25
• 公開（公告）號: CN106756889B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王濤;何小珊;陳果;劉艷松;何智兵;李俊;許華;陳志梅;杜凱
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/517
• 代理公司: 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所(普通合伙) 51124
• 代理人: 楊長青

1.用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：包括撥桿(1)、微球盤(2)、真空驅(qū)動電機(jī)(3)、銅座(4)和微波屏蔽腔板(5)，所述撥桿(1)和微球盤(2)均為石英玻璃材質(zhì)，撥桿(1)由直桿(11)和圓環(huán)(12)構(gòu)成，其中圓環(huán)(12)連接于直桿(11)的一端，圓環(huán)(12)所在平面與直桿(11)相互垂直，圓環(huán)(12)內(nèi)放置所述微球盤(2)，直桿(11)的另一端連接所述真空驅(qū)動電機(jī)(3)，真空驅(qū)動電機(jī)(3)通過固定支架(31)安裝固定；所述銅座(4)的頂部設(shè)置圓槽(41)，圓槽(41)上方為所述撥桿(1)的圓環(huán)(12)，放置于圓環(huán)(12)內(nèi)的微球盤(2)的底部位于圓槽(41)內(nèi)，銅座(4)的下方為所述微波屏蔽腔板(5)，微波屏蔽腔板(5)中部設(shè)置安裝通孔(51)，微波屏蔽腔板(5)上設(shè)置至少一個通氣孔(52)，通氣孔(52)上下貫穿微波屏蔽腔板(5)，微波屏蔽腔板(5)上還設(shè)置用于安裝固定的緊固螺紋孔(53)，撥桿(1)的直桿(11)穿過微波屏蔽腔板(5)的通氣孔(52)，所述銅座(4)和真空驅(qū)動電機(jī)(3)分別位于所述微波屏蔽腔板(5)的上下側(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：所述撥桿(1)的圓環(huán)(12)內(nèi)徑至少為微球盤(2)盤口直徑的1.2倍。

3.如權(quán)利要求1所述的用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：所述微球盤(2)內(nèi)表面呈拋物面狀或球面狀。

4.如權(quán)利要求1所述的用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：所述微波屏蔽腔板(5)的通氣孔(52)的直徑大于直桿(11)的直徑，且通氣孔(52)的直徑小于6mm。

5.如權(quán)利要求1或4所述的用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：所述微波屏蔽腔板(5)上設(shè)置兩圈通氣孔(52)，兩圈通氣孔(52)形成的兩個圓形與安裝通孔(51)均呈同心圓關(guān)系。

6.如權(quán)利要求1所述的用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：所述銅座(4)由圓柱臺階(42)和固定于圓柱臺階(42)上的圓柱筒(43)構(gòu)成，圓柱臺階(42)和圓柱筒(43)的中心線互相重合，圓柱臺階(42)上設(shè)置有圓角(44)，圓柱筒(43)上設(shè)置有圓角(44)，圓柱筒(43)的頂部設(shè)置所述圓槽(41)。

7.如權(quán)利要求1所述的用于微波等離子體環(huán)境的微球驅(qū)動裝置，其特征在于：所述真空驅(qū)動電機(jī)(3)的輸出軸和撥桿(1)的直桿(11)之間通過連接塊(6)相連，真空驅(qū)動電機(jī)(3)的輸出軸和撥桿(1)的直桿(11)分別通過螺釘連接于連接塊(6)的兩端。