[發明專利]一種高截止、低波紋的準矩形窄帶濾光片

有效

• 申請號: 201710056528.4
• 申請日: 2017-01-25
• 公開（公告）號: CN106597591B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 艾曼靈;金波;顧培夫
• 申請（專利權）人: 杭州科汀光學技術有限公司
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28
• 代理公司: 杭州天勤知識產權代理有限公司 33224
• 代理人: 陳升華

1.一種濾光片，包括基底以及分別設置在所述基底兩側的主膜系和截止膜系，其特征在于，所述的主膜系和截止膜系均由四個法布里-珀羅濾光片的三重周期結構組成，所述的主膜系為G[(HL)⁴H2L3H(LH)⁴L(HL)⁵H2LH(LH)⁵L(HL)⁵H2L3H(LH)⁵L(HL)⁴H2L3H(LH)⁴L]³A；

所述的截止膜系為G[(HL)³H4L2H4L3H(LH)³L(HL)⁴H4L2H4LH(LH)⁴L(HL)⁴H4L2H4L3H(LH)⁴L(HL)³H4L2H4L3H(LH)³L]³A，截止膜系通帶兩側的次峰波長位置與主膜系完全叉開；

其中，G代表基底，A代表空氣，H表示四分之一波長膜厚的高折射率膜層，L表示四分之一波長膜厚的低折射率膜層。

2.根據權利要求1所述的濾光片，其特征在于，所述的主膜系總層數為264層，其中靠空氣側的最外二層膜的厚度依次修正為：0.7930H和2.5964L。

3.根據權利要求1所述的濾光片，其特征在于，所述的截止膜系總層數為240層，其中靠空氣側的最外二層膜的厚度依次修正為：0.7467H和0.6217L。

4.根據權利要求1所述的濾光片，其特征在于，所述的高折射率膜層為氧化鈦、氧化鈮或氧化鉭，所述的低折射率膜層為氧化硅。

5.根據權利要求1所述的濾光片，其特征在于，所述的濾光片的中心波長為1000nm～1600nm。

6.根據權利要求5所述的濾光片，其特征在于，所述的基底在波長為1000nm～1600nm時，折射率1.48～1.55。

7.根據權利要求5所述的濾光片，其特征在于，所述的濾光片的中心波長為1550nm或1060nm。

8.根據權利要求7所述的濾光片，其特征在于，所述的中心波長為1550nm，基底采用日本OHARA生產的WMS-13，基底WMS-13在1550nm的折射率1.52；

所述的中心波長為1060nm，基底采用德國肖特的BK7，基底BK7在1060nm的折射率為1.51。