[發明專利]蒸鍍方法及蒸鍍設備有效
| 申請號： | 201710055136.6 | 申請日： | 2017-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN108342692B | 公開（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發明（設計）人： | 彭兆基;邱林;李倩;何麟;高峰 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種蒸鍍方法，其特征在于，包括如下步驟：
將蒸鍍材料放置于蒸鍍設備的蒸鍍源中，將所述蒸鍍源與待蒸鍍基板相對設置，且所述蒸鍍源的開口朝向所述待蒸鍍基板；
對所述蒸鍍源進行加熱至預設溫度后，移動所述蒸鍍源和/或所述待蒸鍍基板，使所述蒸鍍源相對于所述待蒸鍍基板，在平行于所述待蒸鍍基板的平面上移動的軌跡為波浪線，所述波浪線的波幅為所述蒸鍍源相鄰兩個開口之間的距離。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍方法，其特征在于，所述波浪線的波動頻率為1～3次/秒。
3.根據權利要求1所述的蒸鍍方法，其特征在于，所述波浪線為正弦曲線。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于昆山國顯光電有限公司，未經昆山國顯光電有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710055136.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種加熱裝置及一種真空鍍膜系統
- 下一篇：防止蒸發源坩堝內材料劣化的方法
- 同類專利
- 專利分類
