[發明專利]觀察窗密封結構及具有該密封結構的設備

有效

• 申請號: 201710054587.8
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106639791B
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 龔勛;楊曉東;董杰;金哲山;劉冬雪;徐成業;逄萬吉;高歡;周東淇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: E06B3/62
• 分類號: E06B3/62
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發明提供了一種觀察窗密封結構及具有該觀察窗密封結構的設備，所述觀察窗密封結構用于安裝于腔室的觀察通道上，觀察通道包括臺階裝配面；該觀察窗密封結構包括：環狀的第一墊圈，第一墊圈貼緊裝配于臺階裝配面上；安裝于第一墊圈遠離腔室的一側的觀察玻璃，觀察玻璃包括相對的第一表面和第二表面，第一表面面向腔室，第二表面的四周邊緣與觀察通道的內壁之間形成有縫隙；密封圈，密封圈容置于縫隙內，并與觀察玻璃及觀察通道的內壁完全接觸；及，環繞觀察通道的四周設置的擋塊，擋塊安裝于腔室的壁體上，且擋塊至少覆蓋住縫隙，與觀察玻璃的第一表面之間密封。本發明提供的觀察窗密封結構安裝方便，且易拆除密封圈，密封性能好。

技術領域

本發明涉及一種觀察窗密封結構及具有該密封結構的設備。

背景技術

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等離子體增強化學氣象沉積裝置)常應用在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶顯示器)、薄膜太陽能行業中，作用為在基板上鍍膜。鍍膜工藝在密閉的工藝腔室內進行，在一些情況下，工藝腔室內的狀態，例如：基板破裂、中心銷蓋(Center pin cap)脫落、接地(Grounding)斷裂等，需要肉眼確認。通常，在工藝腔室壁體上設置觀察窗(ViewWindow)，用于檢查腔室內部的情況。由于PECVD設備在真空、高溫環境下進行等離子體化學氣相沉積，此觀察窗需要具備真空密封、耐高溫、耐腐蝕、過濾UV射線、能透光等特點。

如圖1所示為現有技術中PECVD設備中觀察窗密封結構的結構示意圖。如圖1所示，現有技術中，在PECVD設備的工藝腔室的腔室壁體上開設有用于安裝觀察窗的通道，該通道為階梯形通道，其靠近腔室內側的孔徑小于靠近腔室外側的孔徑，密封結構從腔室外側安裝。觀察窗密封結構主要包括：墊圈 10、薄片玻璃20、O型密封圈(O-ring)30、過濾UV玻璃40、擋塊50、擋塊墊圈60及擋塊鎖緊螺絲70等。

現有技術PECVD設備中觀察窗密封結構的安裝過程為：

第一步，在階梯形通道的階梯面上安裝墊圈10；第二步，在墊圈10外安裝薄片玻璃20；第三步，在薄片玻璃20的四周安裝起密封作用O型密封圈 30；第四步，安裝過濾UV玻璃40；第五步，安裝最外側的擋塊墊圈60及擋塊50，擋塊50在鎖緊螺絲70作用下向內擠壓，進而使過濾UV玻璃40的傾斜面擠壓O型密封圈30，O型密封圈30與薄片玻璃20和通道內壁接觸以達到密封效果。

通常PECVD設備上裝有5～8個觀察窗，隨著長時間高溫、腐蝕環境中使用，O型密封圈被腐蝕，發生泄漏(Leak)，所以O型密封圈需要定期更換。

現有技術PECVD設備中觀察窗密封結構存在以下問題：

1)、O型密封圈安裝困難：O型密封圈在通道內側安裝，需提前將O型密封圈與薄片玻璃和通道的四周壁體完全貼合，但O型密封圈易下垂，當過濾UV玻璃向內擠壓時，O型密封圈下垂的部分與過濾UV玻璃正面接觸，O 型密封圈沒有實現與壁體擠壓接觸，不能達到密封作用，反復拆裝增加作業難度；

2)、O型密封圈拆除困難：O型密封圈在長時間高溫擠壓下，通常與通道內壁及薄片玻璃粘在一起，不易取出。外側將擋塊拆除，無受力點，當前方法只能用硬物從腔室內側敲擊；

3)、過濾UV玻璃和薄片玻璃易破裂，損失大：在拆除作業時，過濾UV 玻璃與薄片玻璃易被破裂，造成損失，PECVD設備上工藝腔室多，每腔室觀察窗數量又多，而過濾UV玻璃和薄片玻璃的成本又高，這大大增加了損失量；

4)、只能開腔后作業：外部擋塊拆下，過濾UV玻璃無受力點，只能開腔后，從內側將粘接的玻璃敲打出。

由此可見，現有技術中PECVD設備存在O型密封圈取出困難，易引發過濾UV玻璃及薄片玻璃破裂，更換作業時間長等問題。

發明內容