[發明專利]固支梁T形結在線式微波相位檢測器

在審

• 申請號: 201710052745.6
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106771607A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 廖小平;嚴德洋
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R25/00
• 分類號: G01R25/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種固支梁T形結在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底(1)上制作SiO2層(25)，在SiO2層(25)上設有共面波導傳輸線、固支梁結構、T形結以及間接熱電式微波功率傳感器1和間接熱電式微波功率傳感器2,所述的共面波導傳輸線由共面波導傳輸線的信號線(2)和地線(3)構成，所述的縫隙結構包括固支梁(4)、第一錨區(5)和第二錨區(6)，固支梁結構懸于共面波導傳輸線的信號線(2)上的絕緣介質層(7)的上方，固支梁結構的第一錨區(5)通過間接熱電式微波功率傳感器1的共面波導傳輸線的信號線(13)連接間接熱電式微波功率傳感器1，第二錨區(6)通過T形結的第一共面波導傳輸線的信號線(17)連接T形結的一個輸入端口，另一個輸入端口通過T形結的第二共面波導傳輸線的信號線(18)連接到參考信號輸入端口，T形結的輸出端通過T形結的第三共面波導傳輸線的信號線(19)連接間接熱電式微波功率傳感器2。

2.根據權利要求1所述的固支梁T形結在線式微波相位檢測器，其特征是采用T形結進行功率合成，所述的T形結由第一空氣橋(14)、第二空氣橋(15)、第三空氣橋(16)、第一共面波導傳輸線的信號線(17)、第二共面波導傳輸線的信號線(18)、第三共面波導傳輸線的信號線(19)構成，為三端口器件，可用于功率合成，無需隔離電阻，其中第一空氣橋(14)、第二空氣橋(15)、第三空氣橋(16)用于共面波導傳輸線的地線(3)之間的互連，同時為了方便這三個空氣橋的釋放，在其上制作了一組小孔陣列。

3.根據權利要求1所述的固支梁T形結在線式微波相位檢測器，其特征是采用間接熱電式微波功率傳感器進行功率檢測，所述的間接熱電式微波功率傳感器1包括金屬熱偶臂(8)、半導體熱偶臂(9)、歐姆接觸區(10)、終端電阻(11)、直流輸出塊(12)以及共面波導傳輸線的信號線(13)；所述的間接熱電式微波功率傳感器2包括金屬熱偶臂(20)、半導體熱偶臂(21)、歐姆接觸區(22)、終端電阻(23)以及直流輸出塊(24)。