[發明專利]硅基已知頻率縫隙耦合式間接式毫米波相位檢測器

有效

• 申請號: 201710052742.2
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106645924B
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 廖小平;褚晨蕾
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R21/02
• 分類號: G01R21/02;G01R25/00;G01R15/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種硅基已知頻率縫隙耦合式間接式毫米波相位檢測器，其特征在于，該相位檢測器制作在高阻Si襯底(11)上，是由共面波導(2)、一號縫隙耦合結構(4-1)、二號縫隙耦合結構(4-2)、三號縫隙耦合結構(4-3)、四號縫隙耦合結構(4-4)、移相器(3)、一個Wilkinson功分器、二個Wilkinson功合器以及四個間接式熱電式功率傳感器所構成，具體結構的連接關系如下：第一端口(1-1)是信號輸入端，一號縫隙耦合結構(4-1)和二號縫隙耦合結構(4-2)位于共面波導(2)上側地線，三號縫隙耦合結構(4-3)和四號縫隙耦合結構(4-4)則位于共面波導(2)下側地線，這兩對縫隙關于中心信號線對稱，它們之間由一個移相器(3)隔開，一號縫隙耦合結構(4-1)連接到第二端口(1-2)，第二端口(1-2)與一號間接式熱電式功率傳感器相連，同樣的，二號縫隙耦合結構(4-2)連接到第三端口(1-3)，第三端口(1-3)與二號間接式熱電式功率傳感器連接；對于相位檢測模塊(1)，三號縫隙耦合結構(4-3)與第四端口(1-4)相連，第四端口(1-4)連接到一號Wilkinson功合器，四號縫隙耦合結構(4-4)與第五端口(1-5)相連，第五端口(1-5)連接到二號Wilkinson功合器，參考信號通過三號Wilkinson功分器的輸入端輸入，三號Wilkinson功分器的輸出端分別連接到一號Wilkinson功合器和二號Wilkinson功合器；一號Wilkinson功合器的輸出端連接三號間接式熱電式功率傳感器，二號Wilkinson功合器的輸出端連接四號間接式熱電式功率傳感器，第六端口(1-6)處連接著后續處理電路。

2.如權利要求1所述的硅基已知頻率縫隙耦合式間接式毫米波相位檢測器，其特征在于，Wilkinson功分器和Wilkinson功合器的結構是相同的，主要由共面波導(2)、非對稱共面帶線(13)和電阻(5)構成，其中兩條長度相同的非對稱共面帶線(13)能夠將共面波導(2)上的毫米波信號分為相等的兩部分，而電阻(5)位于兩條非對稱共面帶線(13)的末端。

3.如權利要求1所述的硅基已知頻率縫隙耦合式間接式毫米波相位檢測器，其特征在于，采用間接式熱電式功率傳感器來實現熱電轉換，它主要由共面波導(2)、兩個電阻(5)以及熱電堆(6)所構成，而熱電堆(6)又是由P型半導體臂(7)和N型半導體臂(8)通過歐姆接觸(9)級聯組成，其中共面波導(2)與兩個電阻(5)相連，而熱電堆(6)與終端電阻(5)之間有一段間隔。