[發明專利]懸臂梁T形結在線式微波相位檢測器

在審

• 申請號: 201710052722.5
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106645922A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 廖小平;嚴德洋
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R21/02
• 分類號: G01R21/02;G01R25/00;G01R15/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種懸臂梁T形結在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底(1)上制作SiO₂層(26)，在SiO₂層(26)上設有共面波導傳輸線、兩個關于共面波導傳輸線的信號線(2)對稱的懸臂梁結構1和懸臂梁結構2、T形結以及間接熱電式微波功率傳感器1和間接熱電式微波功率傳感器2，所述的共面波導傳輸線由信號線(2)和地線(3)構成，所述的懸臂梁結構1由懸臂梁結構1的懸臂梁(4)和錨區(5)構成，懸臂梁結構2由懸臂梁結構2的懸臂梁(6)和錨區(7)構成，懸臂梁結構1和懸臂梁結構2懸于共面波導傳輸線的信號線(2)上的絕緣介質層(8)的上方，共面波導傳輸線的信號線(2)上側的懸臂梁結構1的錨區(5)通過間接熱電式微波功率傳感器1的共面波導傳輸線的信號線(14)連接間接熱電式微波功率傳感器1，共面波導傳輸線的信號線(2)下側的懸臂梁結構2的錨區(7)通過T形結的第一共面波導傳輸線的信號線(18)連接T形結的一個輸入端，另一個輸入端通過T形結的第二共面波導傳輸線的信號線(19)連接參考信號輸入端口，T形結輸出端通過共面波導傳輸線的信號線(20)連接間接熱電式微波功率傳感器2。

2.根據權利要求1所述的懸臂梁T形結在線式微波相位檢測器，其特征是采用T形結進行功率合成，T型結包括第一空氣橋(15)、第二空氣橋(16)、第三空氣橋(17)、第一共面波導傳輸線的信號線(18)、第二共面波導傳輸線的信號線(19)和第三共面波導傳輸線的信號線(20)，為三端口器件，可用于功率合成，無需隔離電阻，其中第一空氣橋(15)、第二空氣橋(16)和第三空氣橋(17)用于共面波導傳輸線的地線(3)之間的互連，為了方便這三個空氣橋的釋放，在其上制作了一組小孔陣列。

3.根據權利要求1所述的懸臂梁T形結在線式微波相位檢測器，其特征是采用間接熱電式微波功率傳感器進行功率檢測，所述的間接熱電式微波功率傳感器1由金屬熱偶臂(9)、半導體熱偶臂(10)、歐姆接觸區(11)、終端電阻(12)、直流輸出塊(13)和共面波導傳輸線的信號線(14)構成；所述的間接熱電式微波功率傳感器2的金屬熱偶臂(21)、半導體熱偶臂(22)、歐姆接觸區(23)、終端電阻(24)和直流輸出塊(25)構成。