[發明專利]T形結懸臂梁在線式微波相位檢測器

在審

• 申請號: 201710052710.2
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106771603A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 廖小平;嚴德洋
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R25/00
• 分類號: G01R25/00;G01R21/02;G01R15/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種T形結懸臂梁在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底(1)上制作SiO2層(24)，在SiO2層(24)上設有共面波導傳輸線、懸臂梁結構1和懸臂梁結構2、T形結以及直接加熱式微波功率傳感器1和直接加熱式微波功率傳感器2，所述的共面波導傳輸線由共面波導傳輸線的信號線(2)和地線(3)構成，所述的懸臂梁結構1包括懸臂梁(4)和錨區(5)，懸臂梁結構2包括懸臂梁(6)和錨區(7)，懸臂梁結構1和懸臂梁結構2懸于共面波導傳輸線的信號線(2)上的絕緣介質層(7)的上方，共面波導傳輸線的信號線(2)上側的懸臂梁結構1的錨區(5)通過直接加熱式微波功率傳感器1的共面波導傳輸線的信號線(13)連接直接加熱式微波功率傳感器1，共面波導傳輸線的信號線(2)下側的懸臂梁結構2的錨區(7)通過T形結的第一共面波導傳輸線的信號線(17)連接T形結的一個輸入端口，另一個輸入端口通過T形結的第二共面波導傳輸線的信號線(18)連接到參考信號輸入端口，T形結的輸出端通過T形結的第三共面波導傳輸線的信號線(19)連接直接加熱式微波功率傳感器2。

2.根據權利要求1所述的T形結懸臂梁在線式微波相位檢測器，其特征是采用T形結進行功率合成，所述的T形結由第一空氣橋(14)、第二空氣橋(15)、第三空氣橋(16)、第一共面波導傳輸線的信號線(17)、第二共面波導傳輸線的信號線(18)和第三共面波導傳輸線的信號線(19)構成，為三端口器件，可用于功率合成，無需隔離電阻，其中第一空氣橋(14)、第二空氣橋(15)、第三空氣橋(16)用于共面波導傳輸線的地線(3)之間的互連，同時為了方便這三個空氣橋的釋放，在其上制作了一組小孔陣列。

3.根據權利要求1所述的T形結懸臂梁在線式微波相位檢測器，其特是采用直接加熱式微波功率傳感器進行功率檢測，所述的直接加熱式微波功率傳感器1包括半導體熱偶臂(9)、終端電阻(10)、直流輸出塊(11)、隔絕直流電容(12)和共面波導傳輸線的信號線(13)；所述的直接加熱式微波功率傳感器2包括半導體熱偶臂(20)終端電阻(21)、直流輸出塊(22)、隔絕直流電容(23)。