[發明專利]基于固支梁的在線式微波相位檢測器

在審

• 申請號: 201710052707.0
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106814252A
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 廖小平;嚴德洋
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R25/00
• 分類號: G01R25/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種基于固支梁的在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底上(1)制作SiO₂層(24)，在SiO₂層(24)上設有共面波導傳輸線、固支梁結構、功合器以及間接熱電式微波功率傳感器和1和間接熱電式微波功率傳感器和2，所述的共面波導傳輸線由共面波導傳輸線的信號線(2)和地線(3)構成，所述的固支梁結構由固支梁(4)、第一錨區(5)和第二錨區(6)構成，固支梁結構位于共面波導傳輸線的信號線(2)上方，固支梁結構的上側的第一錨區(5)通過間接熱電式微波功率傳感器1的共面波導傳輸線的信號線(18)連接間接熱電式微波功率傳感器1，固支梁結構的下側的第二錨區(6)通過功合器的第一共面波導傳輸線的信號線(10)連接功合器的一個輸入端，功合器的另一個輸入端通過功合器的第二共面波導傳輸線的信號線(11)連接到參考信號輸入端口，功合器的輸出端通過功合器的第三共面波導傳輸線的信號線(12)連接至間接熱電式微波功率傳感器2。

2.根據權利要求1所述的基于固支梁的在線式微波相位檢測器，其特征是采用功合器進行功率合成，所述的功合器由隔離電阻(8)、ACPS信號線(9)、第一共面波導傳輸線的信號線(10)、第二共面波導傳輸線的信號線(11)和第三共面波導傳輸線的信號線(12)構成。

3.根據權利要求1所述的基于固支梁的在線式微波相位檢測器，其特征是采用間接熱電式微波功率傳感器進行功率檢測，所述的間接熱電式微波功率傳感器1包括金屬熱偶臂(13)、半導體熱偶臂(14)、歐姆接觸區(15)、終端電阻(16)、直流輸出塊(17)和共面波導傳輸線的信號線(18)；所述的間接熱電式微波功率傳感器2包括金屬熱偶臂(19)、半導體熱偶臂(20)、歐姆接觸區(21)、終端電阻(22)和直流輸出塊(23)。