[發明專利]基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器及檢測方法

有效

• 申請號: 201710052680.5
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN106841792B
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 廖小平;嚴德洋
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R25/00
• 分類號: G01R25/00;G01R23/02;G01R21/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底（1）上制作SiO₂層（25），在SiO₂層（25）上設有共面波導傳輸線、兩個關于共面波導傳輸線的信號線（2）對稱的懸臂梁結構1和懸臂梁結構2、功合器以及間接熱電式微波功率傳感器1和間接熱電式微波功率傳感器2，所述的共面波導傳輸線由共面波導傳輸線的信號線（2）和地線（3）構成，所述的懸臂梁結構1由懸臂梁1（4）和錨區1（5）構成，所述的懸臂梁結構2由懸臂梁2（6）和錨區2（7）構成，懸臂梁1（4）和懸臂梁2（6）與下方的共面波導傳輸線的信號線（2）之間設有絕緣介質層（8），懸臂梁結構1的錨區1（5）通過間接熱電式微波功率傳感器1的共面波導傳輸線的信號線（24）連接至間接熱電式微波功率傳感器1，懸臂梁結構2的錨區2（7）通過功合器的第一共面波導傳輸線的信號線（11）連接至功合器的一個輸入端，另一個輸入端由功合器的第二共面波導傳輸線的信號線（12）連接至參考信號的輸入端口，功合器的輸出端通過功合器的第三共面波導傳輸線的信號線（13）連接至間接熱電式微波功率傳感器2。

2.根據權利要求1所述的基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器，其特征是采用功合器進行功率合成，所述的功合器包括隔離電阻（9）、ACPS信號線（10）、第一共面波導傳輸線的信號線（11）、第二共面波導傳輸線的信號線（12）和第三共面波導傳輸線的信號線（13），其中第一共面波導傳輸線的信號線（11）和第二共面波導傳輸線的信號線（12）是功合器的兩個輸入端口連接線，第三共面波導傳輸線的信號線（13）是功合器的輸出端口連接線，功合器的輸入端口和輸出端口之間通過ACPS信號線（10）連接，隔離電阻安置在第一共面波導傳輸線的信號線（11）和第二共面波導傳輸線的信號線（12）之間。

3.根據權利要求1所述的基于懸臂梁的在線式微波相位檢測器，其特征是采用間接熱電式微波功率傳感器進行功率檢查，所述的間接熱電式微波功率傳感器1包括共面波導傳輸線的信號線（24）、兩個終端電阻1（18）、熱電堆1和直流輸出塊1（17），熱電堆1是由金屬熱偶臂1（14）和半導體熱偶臂1（15）通過歐姆接觸區1（16）級聯組成；所述的間接熱電式微波功率傳感器2包括第三共面波導傳輸線的信號線（13）、兩個終端電阻2（19）、熱電堆2和直流輸出塊2（23），熱電堆2是由金屬熱偶臂2（20）和半導體熱偶臂2（21）通過歐姆接觸區2（22）級聯組成。