[發明專利]激光位移傳感器

有效

• 申請號: 201710052240.X
• 申請日: 2017-01-22
• 公開（公告）號: CN106855391B
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 王雷;譚波
• 申請（專利權）人: 寧波舜宇智能科技有限公司;余姚舜宇智能光學技術有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京謹誠君睿知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11538
• 代理人: 陸鑫;延慧

1.一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調制傳遞函數MTF解析時，解析結果滿足以下條件：

在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS>MTFT；

在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT>MTFS；

其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；

在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結果滿足所述條件；和/或

在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件，并且配合微調所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離，使得所述解析結果滿足所述條件。

2.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS>MTFT×10；如果所述多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT>MTFS×10。

3.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFT≥0.5，MTFS<0.05。

4.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進一步包括：

反光元件，所述反光元件設置在所述成像物鏡的出射光路上，所述成像物鏡的出射光經所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。

5.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進一步包括：

帶通濾光片，設置于所述成像物鏡的入射光路上。

6.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進一步包括：

聚焦透鏡，設置于所述激光器的出射光路上。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的激光位移傳感器，其特征在于，所述感光元件為線陣感光元件，所述線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向為所述多個感光單元的主要排列方向。

8.根據權利要求1至6中任一項所述的激光位移傳感器，其特征在于，所述感光元件為面陣感光元件，所述面陣感光元件包括以矩形排列的多個感光單元，所述面陣感光元件的長邊延伸方向為所述多個感光單元的主要排列方向。

9.根據權利要求1至6中任一項所述的激光位移傳感器，其特征在于，所述成像物鏡為單一鏡片，且所述成像物鏡的物側面和像側面皆為非球面；或者，所述成像物鏡為多個透鏡組成的透鏡組。