[發明專利]TFT減薄拋光用吸附墊

有效

• 申請號: 201710051131.6
• 申請日: 2017-01-23
• 公開（公告）號: CN106903596B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 譚鴻;李加海;何成生;李潔華
• 申請（專利權）人: 安徽禾臣新材料有限公司
• 主分類號: B24B37/22
• 分類號: B24B37/22;B24B37/24;B32B7/06;B32B27/08;B32B27/36;B32B27/40;B32B33/00
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

1.TFT減薄拋光用吸附墊，其特征在于：所述吸附墊從下到上依次設有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層、第一發泡層、第二發泡層、第三隔離層以及第四發泡層，所述表面吸附層為致密層；所述第一發泡層以及第二發泡層均為水滴形多孔狀結構，所述第二發泡層的水滴形孔大于第一發泡層的水滴形孔；所述第四發泡層為平均孔徑在200-400μm的橢圓形多孔狀結構，所述第三隔離層為孔徑2-20μm的圓形微米孔形成的網狀孔結構；

所述吸附墊的加工工藝，步驟如下：

1）將PET膜通過雙面膠進行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方；

2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機中，并對含氟聚氨酯多孔膜的上方進行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進行加熱10-15秒，將保護膜進行加熱，并將保護膜通過熱壓20-40秒，并將保護膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復合板；

3）將含氟聚氨酯多孔膜復合板裁切成一定的尺寸；

4）將含氟聚氨酯多孔膜復合板表面進行加工、剪裁，得到研磨層加工板；

5）將離型紙通過雙面膠進行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復合板的下端，即得到吸附墊半成品；

6）將吸附墊半成品的邊緣進行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。

2.根據權利要求1所述的TFT減薄拋光用吸附墊，其特征在于，所述PET膜的加工工藝如下：

（1）將硅酸鈉15-20份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷3-9份、有機硅膠樹脂30-55份進行混合，并在80℃下進行攪拌10-15分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠4-7份加熱至118-120℃后加入至混合物中，并在60-105℃下進行反應4-9分鐘；

（2）將交聯劑6-8份、成膜助劑11-17份、耐高溫填充劑6-13份、阻燃劑4-8份、抗氧劑2-6份在65-70℃下進行攪拌；

（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機中，并在85-97℃下進行反應20-30分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內，并在90-100℃下進行烘干1-3分鐘；

（4）將步驟（3）的混合物放在90-105℃的離心機中進行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應后的混合物；

（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至50-53℃后進行固化，將加熱之后的膜載體靜置6-8小時，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；

（6）將納米二氧化鈦4-6份、二氧化硅2-5份、硼酸鋅1-4份進行混合后，加入甘油5-8份、乙醇15-20份進行攪拌，并在95-120℃下進行攪拌14-20分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進行離心過濾，將過濾物在常溫下進行靜置30-45分鐘；

（7）將步驟（6）反應后的過濾物放入乙醇、丙酮中進行混合，并對混合物進行通電；

（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內進行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置12-18分鐘后，將膜取出并靜置45-60分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進行烘干8-10分鐘；

（9）將二氧化硅1-5份、甲基乙烯基硅橡膠4-6份、硅酸鈉2-3份、熱穩定劑3-7份進行混合后，加入去離子水30-45份、粘合劑1-2份后攪拌22-27分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進行超聲分散4-7分鐘后，向混合物中加入乙醇5-9份，并將混合物在30-35℃下進行陳化2-4小時后，將混合物放入離心裝置中進行過濾，并將過濾物加熱至50-60℃；

（10）將步驟（8）反應后的膜放入至110-125℃的熱壓機中進行熱壓，將步驟（9）反應后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應膜進行噴射，并將經過步驟（9）反應后的混合液噴至膜的兩側后，常溫下靜置40-60分鐘后，放入至烘干裝置中進行烘干30-40分鐘，即可得到PET膜。

3.根據權利要求1所述的TFT減薄拋光用吸附墊，其特征在于：所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進行熱壓的溫度為55-65℃。

4.根據權利要求1所述的TFT減薄拋光用吸附墊，其特征在于：所述步驟2）中加熱裝置的溫度為100-115℃。