[發明專利]用于高分辨率電子束成像的設備及方法在審
| 申請號： | 201710049531.3 | 申請日： | 2013-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN106548913A | 公開（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發明（設計）人： | 姜辛容;韓立群 | 申請（專利權）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/05 | 分類號： | H01J37/05;H01J37/153;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 高分辨率 電子束 成像 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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