[發(fā)明專利]用于高分辨率電子束成像的設(shè)備及方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710049531.3 | 申請(qǐng)日： | 2013-04-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106548913A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姜辛容;韓立群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/05 | 分類號(hào)： | H01J37/05;H01J37/153;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 高分辨率 電子束 成像 設(shè)備 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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- 利用低分辨率圖像提供高分辨率圖像的方法和裝置
- 一種深度圖超分辨率方法
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