[發(fā)明專(zhuān)利]設(shè)備供水溫度控制裝置及控制方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710049197.1 | 申請(qǐng)日: | 2017-01-20 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN108334124B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 代小磊;羅晉;余斌;蔡燁平 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G05D23/20 | 分類(lèi)號(hào): | G05D23/20 |
| 代理公司: | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址: | 201203 上*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 設(shè)備 供水 溫度 控制 裝置 方法 | ||
1.一種設(shè)備供水溫度控制裝置,其特征在于,包括供水單元,用于提供冷卻水;溫度控制單元,用于探測(cè)所述供水單元提供的冷卻水的溫度,并根據(jù)用水設(shè)備單元的用水需求,調(diào)制溫度,為所述用水設(shè)備單元提供精確溫控的循環(huán)水,還包括混流勻溫單元,設(shè)置于所述供水單元與所述溫度控制單元之間,用于對(duì)所述供水單元提供的冷卻水進(jìn)行勻化處理,其中,所述溫度控制單元包括溫度傳感器、控制器、熱交換器以及水箱,所述循環(huán)水在所述水箱和所述用水設(shè)備單元之間循環(huán)流動(dòng),所述冷卻水和所述循環(huán)水在所述熱交換器內(nèi)進(jìn)行熱交換,所述冷卻水帶走所述溫度控制單元控溫過(guò)程需要散發(fā)的熱量,所述溫度傳感器固定于所述冷卻水進(jìn)入所述熱交換器的入口處,所述溫度傳感器的輸出信號(hào)與所述控制器的輸入端相連,所述用水設(shè)備單元與所述水箱之間還設(shè)有制冷裝置和加熱裝置,所述控制器的輸出端與所述制冷裝置和加熱裝置分別相連。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備供水溫度控制裝置,其特征在于,所述混流勻溫單元包括支架,以及固定于所述支架上的混流腔體,所述混流腔體上設(shè)有進(jìn)水接口和出水接口,用于與所述供水單元和所述溫度控制單元連通,所述混流腔體內(nèi)設(shè)有若干混流擋板。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備供水溫度控制裝置,其特征在于,所述混流擋板間隔交錯(cuò)固定于所述混流腔體相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)側(cè)壁上,在所述混流腔體內(nèi)形成從所述進(jìn)水接口到所述出水接口的折返水道。
4.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備供水溫度控制裝置,其特征在于,所述進(jìn)水接口和出水接口的數(shù)量均為多個(gè)。
5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備供水溫度控制裝置,其特征在于,所述供水單元為冷水機(jī)。
6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備供水溫度控制裝置,其特征在于,所述用水設(shè)備單元為曝光單元。
7.一種設(shè)備供水溫度控制方法,其特征在于,供水單元提供的冷卻水與用水設(shè)備單元提供的循環(huán)水在溫度控制單元內(nèi)進(jìn)行熱交換,所述冷卻水進(jìn)入所述溫度控制單元前先利用混流勻溫單元進(jìn)行勻化處理,所述溫度控制單元探測(cè)所述供水單元提供的冷卻水的溫度,并根據(jù)用水設(shè)備單元的用水需求,調(diào)制溫度,為所述用水設(shè)備單元提供精確溫控的循環(huán)水,其中,所述溫度控制單元包括溫度傳感器、控制器、熱交換器、制冷裝置、加熱裝置以及水箱,所述水箱、所述制冷裝置、所述加熱裝置以及所述用水設(shè)備單元依次連接形成回路,所述循環(huán)水在所述回路內(nèi)循環(huán)流動(dòng),所述冷卻水和所述循環(huán)水在所述熱交換器內(nèi)進(jìn)行熱交換,所述冷卻水帶走所述溫度控制單元控溫過(guò)程需要散發(fā)的熱量,所述溫度傳感器檢測(cè)所述冷卻水進(jìn)入所述熱交換器前的溫度,將該溫度信號(hào)傳遞至所述控制器,所述控制器對(duì)所述制冷裝置和加熱裝置進(jìn)行控制。
8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)備供水溫度控制方法,其特征在于,所述控制器采用前饋控制算法對(duì)所述制冷裝置和加熱裝置進(jìn)行控制。
9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備供水溫度控制方法,其特征在于,所述前饋控制算法采用增量式PI控制算法。
10.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備供水溫度控制方法,其特征在于,所述控制器實(shí)時(shí)讀取所述冷卻水的溫度并計(jì)算出熱量補(bǔ)償值,并根據(jù)所述補(bǔ)償值調(diào)節(jié)所述制冷裝置和加熱裝置的輸出溫度。
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