[發明專利]設備供水溫度控制裝置及控制方法

有效

• 申請號: 201710049197.1
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN108334124B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 代小磊;羅晉;余斌;蔡燁平
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種設備供水溫度控制裝置，其特征在于，包括供水單元，用于提供冷卻水；溫度控制單元，用于探測所述供水單元提供的冷卻水的溫度，并根據用水設備單元的用水需求，調制溫度，為所述用水設備單元提供精確溫控的循環水，還包括混流勻溫單元，設置于所述供水單元與所述溫度控制單元之間，用于對所述供水單元提供的冷卻水進行勻化處理，其中，所述溫度控制單元包括溫度傳感器、控制器、熱交換器以及水箱，所述循環水在所述水箱和所述用水設備單元之間循環流動，所述冷卻水和所述循環水在所述熱交換器內進行熱交換，所述冷卻水帶走所述溫度控制單元控溫過程需要散發的熱量，所述溫度傳感器固定于所述冷卻水進入所述熱交換器的入口處，所述溫度傳感器的輸出信號與所述控制器的輸入端相連，所述用水設備單元與所述水箱之間還設有制冷裝置和加熱裝置，所述控制器的輸出端與所述制冷裝置和加熱裝置分別相連。

2.如權利要求1所述的設備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述混流勻溫單元包括支架，以及固定于所述支架上的混流腔體，所述混流腔體上設有進水接口和出水接口，用于與所述供水單元和所述溫度控制單元連通，所述混流腔體內設有若干混流擋板。

3.如權利要求2所述的設備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述混流擋板間隔交錯固定于所述混流腔體相對應的兩個側壁上，在所述混流腔體內形成從所述進水接口到所述出水接口的折返水道。

4.如權利要求2所述的設備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述進水接口和出水接口的數量均為多個。

5.如權利要求1所述的設備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述供水單元為冷水機。

6.如權利要求1所述的設備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述用水設備單元為曝光單元。

7.一種設備供水溫度控制方法，其特征在于，供水單元提供的冷卻水與用水設備單元提供的循環水在溫度控制單元內進行熱交換，所述冷卻水進入所述溫度控制單元前先利用混流勻溫單元進行勻化處理，所述溫度控制單元探測所述供水單元提供的冷卻水的溫度，并根據用水設備單元的用水需求，調制溫度，為所述用水設備單元提供精確溫控的循環水，其中，所述溫度控制單元包括溫度傳感器、控制器、熱交換器、制冷裝置、加熱裝置以及水箱，所述水箱、所述制冷裝置、所述加熱裝置以及所述用水設備單元依次連接形成回路，所述循環水在所述回路內循環流動，所述冷卻水和所述循環水在所述熱交換器內進行熱交換，所述冷卻水帶走所述溫度控制單元控溫過程需要散發的熱量，所述溫度傳感器檢測所述冷卻水進入所述熱交換器前的溫度，將該溫度信號傳遞至所述控制器，所述控制器對所述制冷裝置和加熱裝置進行控制。

8.如權利要求7所述的設備供水溫度控制方法，其特征在于，所述控制器采用前饋控制算法對所述制冷裝置和加熱裝置進行控制。

9.如權利要求8所述的設備供水溫度控制方法，其特征在于，所述前饋控制算法采用增量式PI控制算法。

10.如權利要求8所述的設備供水溫度控制方法，其特征在于，所述控制器實時讀取所述冷卻水的溫度并計算出熱量補償值，并根據所述補償值調節所述制冷裝置和加熱裝置的輸出溫度。