[發(fā)明專(zhuān)利]設(shè)備供水溫度控制裝置及控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710049197.1
• 申請(qǐng)日: 2017-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108334124B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代小磊;羅晉;余斌;蔡燁平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G05D23/20
• 分類(lèi)號(hào): G05D23/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種設(shè)備供水溫度控制裝置，其特征在于，包括供水單元，用于提供冷卻水；溫度控制單元，用于探測(cè)所述供水單元提供的冷卻水的溫度，并根據(jù)用水設(shè)備單元的用水需求，調(diào)制溫度，為所述用水設(shè)備單元提供精確溫控的循環(huán)水，還包括混流勻溫單元，設(shè)置于所述供水單元與所述溫度控制單元之間，用于對(duì)所述供水單元提供的冷卻水進(jìn)行勻化處理，其中，所述溫度控制單元包括溫度傳感器、控制器、熱交換器以及水箱，所述循環(huán)水在所述水箱和所述用水設(shè)備單元之間循環(huán)流動(dòng)，所述冷卻水和所述循環(huán)水在所述熱交換器內(nèi)進(jìn)行熱交換，所述冷卻水帶走所述溫度控制單元控溫過(guò)程需要散發(fā)的熱量，所述溫度傳感器固定于所述冷卻水進(jìn)入所述熱交換器的入口處，所述溫度傳感器的輸出信號(hào)與所述控制器的輸入端相連，所述用水設(shè)備單元與所述水箱之間還設(shè)有制冷裝置和加熱裝置，所述控制器的輸出端與所述制冷裝置和加熱裝置分別相連。

2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述混流勻溫單元包括支架，以及固定于所述支架上的混流腔體，所述混流腔體上設(shè)有進(jìn)水接口和出水接口，用于與所述供水單元和所述溫度控制單元連通，所述混流腔體內(nèi)設(shè)有若干混流擋板。

3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述混流擋板間隔交錯(cuò)固定于所述混流腔體相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)側(cè)壁上，在所述混流腔體內(nèi)形成從所述進(jìn)水接口到所述出水接口的折返水道。

4.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述進(jìn)水接口和出水接口的數(shù)量均為多個(gè)。

5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述供水單元為冷水機(jī)。

6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備供水溫度控制裝置，其特征在于，所述用水設(shè)備單元為曝光單元。

7.一種設(shè)備供水溫度控制方法，其特征在于，供水單元提供的冷卻水與用水設(shè)備單元提供的循環(huán)水在溫度控制單元內(nèi)進(jìn)行熱交換，所述冷卻水進(jìn)入所述溫度控制單元前先利用混流勻溫單元進(jìn)行勻化處理，所述溫度控制單元探測(cè)所述供水單元提供的冷卻水的溫度，并根據(jù)用水設(shè)備單元的用水需求，調(diào)制溫度，為所述用水設(shè)備單元提供精確溫控的循環(huán)水，其中，所述溫度控制單元包括溫度傳感器、控制器、熱交換器、制冷裝置、加熱裝置以及水箱，所述水箱、所述制冷裝置、所述加熱裝置以及所述用水設(shè)備單元依次連接形成回路，所述循環(huán)水在所述回路內(nèi)循環(huán)流動(dòng)，所述冷卻水和所述循環(huán)水在所述熱交換器內(nèi)進(jìn)行熱交換，所述冷卻水帶走所述溫度控制單元控溫過(guò)程需要散發(fā)的熱量，所述溫度傳感器檢測(cè)所述冷卻水進(jìn)入所述熱交換器前的溫度，將該溫度信號(hào)傳遞至所述控制器，所述控制器對(duì)所述制冷裝置和加熱裝置進(jìn)行控制。

8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)備供水溫度控制方法，其特征在于，所述控制器采用前饋控制算法對(duì)所述制冷裝置和加熱裝置進(jìn)行控制。

9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備供水溫度控制方法，其特征在于，所述前饋控制算法采用增量式PI控制算法。

10.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備供水溫度控制方法，其特征在于，所述控制器實(shí)時(shí)讀取所述冷卻水的溫度并計(jì)算出熱量補(bǔ)償值，并根據(jù)所述補(bǔ)償值調(diào)節(jié)所述制冷裝置和加熱裝置的輸出溫度。